[发明专利]一种用于ITO/FTO/AZO导电玻璃上具有强选择性的新型化学镀镍法

说明书

技术领域

本发明属镀膜技术领域，具体涉及一种用于ITO/FTO/AZO导电玻璃上具有强选择性的新型化学镀镍法。

背景技术

透明导电膜玻璃是指在普通平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件。其种类分为，氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO），掺F氧化锡（FTO），掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO），由于具有优异的光电性能等特点，ITO/FTO/AZO被广泛用于面发热体、热反射膜、终端设备、汽车玻璃、太阳能电池、薄膜电阻器、气敏传感器、显示器件中的电极材料、防静电，防电磁屏蔽层。

无论应用于什么领域，如需要ITO/FTO/AZO薄膜的局部或边缘金属化，都要在薄膜上覆盖一层金属。如触屏手机，平板电脑等，它们所用的触摸屏分为电阻式和电容式（目前电容式较多），无论是电阻式还是电容式触摸屏，都可以实现单点触控操作和多点触控操作。ITO触摸屏是一种与电子显示器相配合使用的交互式输入装置，根据控制芯片读取的信号不同可以分为电阻式触摸屏和电容式触摸屏。

在电容式触摸屏玻璃基板表面进行ITO溅镀后，使其成为双面ITO玻璃，不在同一面的ITO膜需要通过其四边边缘的ITO导线连通，并与外部电路连通，传达操作信号，但是ITO作为半导体其电阻与外部电路连通相对较大，为了降低控制芯片信号输入输出阻抗限制，就必须降低边缘的ITO电阻，而在ITO连通导线上覆盖一层金属层可以大大降低其电阻。

目前国内外的厂家大都使用真空溅射法，即先在用真空溅射的方法在ITO导线上得到金属膜层，再在ITO区域印上保护膜，然后进行紫外显像刻蚀剥离等步骤。由于真空溅射的方法无选择性，在ITO上沉积金属层的同时，玻璃基体上也沉积了一层金属沉淀，所以必须要配套使用后续步骤来对玻璃基体表面的金属沉淀进行剥离。导致该方法工艺程序复杂，设备投资高，生产速度慢和生产成本高。化学镀的方法可以实现任何基体的金属化，只要合适的镀前处理和镀液工艺，可以使ITO/FTO/AZO导电玻璃的局部或边缘选择性金属化，镀层结合力、光泽性和导电性都非常优异。

目前，相关专利已有三篇，无锡阿尔法电子科技有限公司在申请号为201010188452.9的专利中提出了一种在电容式触摸屏表面进行化学镀金的方法。南京航空航天大学申请号别为CN201210243312.6[1]的专利中提出了一种用于在电容式触摸屏ITO走线上的化学镀镍方法和申请号为201210292996.9[1]的专利中提出了导电玻璃用无敏化的化学镀镍方法。

发明内容

本发明提供一种用于ITO/FTO/AZO导电玻璃上具有强选择性的新型化学镀镍法，包括以下步骤：

（1）除油：将导电玻璃放入乙醇溶液中清洗1-5分钟，再放入除油液中，除油液配方包括5～35g/L NaOH、10～50g/L Na₃PO₄、5～30g/L Na₂CO₃、0.01～1g/L十二烷基苯磺酸钠、蒸馏水；在20-40℃条件下除油3-10分钟，然后用自来水清洗或去离子水清洗；

（2）刻蚀：将除油后的导电玻璃放入刻蚀液中，蚀刻液配方包括10～60g/L Na₂SO₄、0.5～5ml/L浓H₂SO₄、1～10g/L氟化物、5～40g/L柠檬酸、20～60g/L过二硫酸盐和/或过二硫酸氢盐、蒸馏水，所述氟化物指的是含有氟离子的无机盐或者无机酸；；在20-40℃条件下2-7分钟，然后将导电玻璃放入去离子水中并清洗1-3分钟；

（3）催化：将刻蚀后的导电玻璃放入催化液中，催化液配方包括总质量分数为1%～20%的亚铜盐、乙酸、丙酸、羟基乙酸、乳酸、乙二酸、丙二酸、丁二酸、柠檬酸、2-氨基吡啶、氰化钠，亚锡盐中的一种或者几种所构成的溶液、蒸馏水；在20-40℃条件下催化2-10分钟，然后将导电玻璃直接浸泡于活化液中；

（4）活化：将催化后的导电玻璃放入活化液中，活化液配方包括总质量分数为0.1%～0.5%的PdCl₂、0.1%～20%的乙酸、丙酸、羟基乙酸、乳酸、乙二酸、丙二酸、丁二酸、柠檬酸、2-氨基吡啶、盐酸中的一种、蒸馏水；在20-40℃条件下活化2-10分钟，然后将导电玻璃放入去离子水中浸洗1-2分钟；