[发明专利]基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的制备方法、谐振器

权利要求书

1.一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：选择基板衬底得到衬底层（1）；

S2：在所述衬底层（1）上制备环形结构的第一电极（2）、铁电材料层（3）和第二电极（4）；

S3：在所述衬底层（1）上位于所述第一电极（2）下方的位置，刻蚀掉基板衬底基材形成空气空腔（5），所述空气空腔（5）横向上面积大于所述第一电极（2）外边界所围成的面积。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述第一电极（2）所用电极材料为Au、Pt或Mo。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述第二电极（4）所用电极材料为Au、Pt，Mo或Al。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述环形结构的内边界与外边界之间的宽度为100nm-20um。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，在所述基板衬底上沉积支持层（6）后得到所述衬底层（1）。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述支持层（6）为SiO₂层。

7.一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括衬底层（1）和沿远离所述衬底层（1）方向设置的环形结构的第一电极（2）、铁电材料层（3）和第二电极（4）；所述衬底层（1）上与所述第一电极（2）相对的位置处开设空气空腔（5），所述空气空腔（5）横向上面积大于所述第一电极（2）外边界所围成的面积。

8.根据权利要求7所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述环形结构包括但不限于圆形环状结构、方形环状结构、多边形环状结构。

9.根据权利要求7或8所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一电极（2）所用电极材料为Au、Pt或Mo。

10.根据权利要求9所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第二电极（4）所用电极材料为Au、Pt，Mo或Al。

11.根据权利要求10所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述环形结构的内边界和外边界间的宽度为100nm-20um。

12.根据权利要求7-11中任一所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器，其特征在于，还包括支持层（6），所述支持层（6）设置于所述衬底层（1）和所述第一电极（2）之间。

13.根据权利要求12所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述支持层（6）为SiO₂层。

14.一种包括权利要求7-13任一所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的滤波器。

15.一种包括权利要求7-13任一所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的振荡器。

16.一种射频模块，包括双工器或多工器，所述双工器或所述多工器包括权利要求7-13任一所述的基于铁电材料的薄膜体声波谐振器。