[发明专利]用于光学邻近校正模型的校准数据收集方法和系统

权利要求书

1.一种用于光学邻近校正模型的校准数据收集方法，包括：

从起始块开始，逐块扫描晶片上的所有块以形成每个块的扫描图像；

将全部块的扫描图像缝合成缝合图像；

将晶片的布局数据映射到所述缝合图像上以便于定位用户感兴趣的预选位置；以及

测量所述缝合图像上预选位置的图像以获得校准数据。

2.根据权利要求1所述的校准数据收集方法，其中，在扫描方向上按预定重叠间距执行所述扫描以形成每个块的扫描图像。

3.根据权利要求1所述的校准数据收集方法，其中，所述扫描包括：

沿着水平或垂直方向逐块扫描一个芯片中的全部块；

确定下一个要扫描的芯片；以及

重复执行以上步骤。

4.根据权利要求1所述的校准数据收集方法，其中，所述扫描包括：

沿着水平或垂直方向逐块扫描一个芯片中的全部块；

当扫描到所述芯片中的最后一块时，确定距离该最后一块最近的另一芯片中的起始块；

从所述另一芯片中的所确定的起始块开始，重复执行以上步骤。

5.根据权利要求1所述的校准数据收集方法，其中，将全部块的扫描图案缝合成缝合图像包括：

确定两个相邻块的扫描图像在与扫描方向垂直的方向上的位置误差；

确定两个相邻块的扫描图像在扫描方向上的位置误差；

基于所确定的位置误差，将两个相邻块的扫描图像缝合在一起。

6.根据权利要求5所述的校准数据收集方法，其中，确定两个相邻块的扫描图像在与扫描方向垂直的方向上的位置误差包括：

计算两个相邻块的在与扫描方向垂直的方向上的重心；

计算所计算的重心之间的差值；以及

基于所计算的差值确定在与扫描方向垂直的方向上的位置误差。

7.根据权利要求6所述的校准数据收集方法，其中，基于所计算的差值确定在与扫描方向垂直的方向上的位置误差包括：

计算所述差值与预定容限的和值作为在与扫描方向垂直的方向上的位置误差。

8.根据权利要求5所述的校准数据收集方法，其中，确定两个相邻块的扫描图像在扫描方向上的位置误差包括：

使两个相邻块的扫描图像接合在一起；

在以预定步长使扫描图像重叠的同时，测量接合区域中图像的亮度值，其中所述接合区域具有预定大小；以及

将在所述亮度值开始保持恒定时的重叠量用作为扫描方向上的位置误差。

9.根据权利要求8所述的校准数据收集方法，其中，将在所述亮度值开始保持恒定时的重叠量用作为扫描方向上的位置误差包括：

根据所述亮度值和所述重叠量，拟合曲线；

求所述曲线的微分曲线；以及

在所述微分曲线保持恒定时所对应的重叠量确定为扫描方向上的位置误差。

10.根据权利要求6所述的校准数据收集方法，其中，在扫描方向上按预定重叠间距执行所述扫描以形成每个块的扫描图像；并且

其中确定两个相邻块的扫描图像在与扫描方向垂直的方向上的位置误差还包括：

从两个相邻块的扫描图像中沿着扫描方向在后的扫描图像中，切除在与另一扫描图像相邻的侧上的宽度为所述预定重叠间距的倍数的区域。

11.根据权利要求1所述的校准数据收集方法，其中，所述起始块是晶片上的一个芯片的一个角上的块，并且所述起始块是基于晶片的布局数据确定的。