[发明专利]显示器件的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置有效
申请号: | 201310364410.X | 申请日: | 2008-09-26 |
公开(公告)号: | CN103499588A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 奈良圭;浜田智秀 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;杨林森 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 器件 缺陷 检测 方法 装置 | ||
本申请是申请日为2010年4月2日、申请号为200880110250.3、发明名称为“显示器件的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置”的母案的分案。
技术领域
本发明涉及有机电致发光(EL)元件、液晶显示元件或场发射显示器(FED:field emission display)等平板显示元件。另外,涉及该显示器件的缺陷检测方法及缺陷检测装置。
背景技术
液晶显示元件等显示元件由于具有小型、薄型、低耗电量以及轻质的特征,因此现在被广泛地用于各种电子机器中。驱动这些显示元件的驱动电路或薄膜晶体管是使用一般被称作步进机(stepper)的曝光装置制造的。
但是,尤其是随着液晶显示元件的大型化推进,当达到第八代以后时,因制造成本、装置输送限制等,已经达到利用现有的按比例升级延长线上的技术无法应对的地步,存在很多难题。另外,为了降低制造成本,加上由基板尺寸扩大所致的高效率化,使得装置成本的降低、运行成本的降低、大型面板的材料利用率提高成为很大的问题。
另外,在市场上已经开始出售有机EL或场发射显示器等,关于这些新一代的显示元件的制造,装置成本的降低、运行成本的降低也成为很大的问题。
专利文献1作为降低液晶显示元件的装置成本、降低运行成本的对策,公开了一种用卷筒状的挠曲性的基板来制造液晶显示元件的方法。
专利文献2公开了显示缺陷检测方法,用于使用线传感器,从高精细地拍摄的液晶面板的图像中,与摩擦不均或间隙不均等各种显示缺陷的种类对应地选择析像度而进行缺陷检测。
专利文献1:日本专利第3698749号公报
专利文献2:日本特开2004-279239号公报
如专利文献1公开的实施例那样,卷筒状的挠曲性的基板由于长达数十米到数百米,因此在产生致命的缺陷部位的情况下就需要停止生产线。另一方面也有可以很简单地修理的缺陷部位。
专利文献2虽然对成为最终产品的液晶显示元件的完成品依照显示缺陷的种类选择图像的析像度,然而仅以找出缺陷为目的,并未判断是否是必须修理的缺陷。
发明内容
于是,本发明提供如下的显示器件的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置,即,能够在制造过程中找出显示元件的配线等的缺陷部位,并且能够判定是可以在修理线上修正的缺陷还是必须停止生产线的缺陷。
第一观点的显示器件的缺陷检测方法具备:对显示器件的每个局部区域计测特征量的计测步骤、判定计测出的各局部区域的特征量是否在第一范围内的第一判定步骤、针对在该第一判定步骤中被判定为第一范围内的区域算出该局部区域的特征量与该局部区域的周围的局部区域的特征量的差值的算出部、判定利用算出部算出的差值是否在第二范围内的第二判定步骤。
根据该缺陷检测方法,即使局部区域的特征量落入第一范围内,如果局部区域与其周边的局部区域的差异大,则观看显示器件的人的眼睛也会将其视为亮度不均。由此,就会算出局部区域的特征量与该局部区域的周围的局部区域的特征量的差值而检测出成为亮度不均的原因的缺陷。
第二观点的显示器件的缺陷检测方法具备:对显示器件的每个局部区域计测特征量,并基于计测出的区域的特征量计数判定为缺陷区域的区域的缺陷计数步骤、当在缺陷计数步骤中缺陷数大于第一阈值的情况下停止显示器件的生产线的步骤、当在缺陷计数步骤中缺陷数小于第一阈值的情况下计算给定面积内的缺陷密度的缺陷密度计算步骤、当在缺陷密度计算步骤中缺陷密度大于第二阈值的情况下停止显示器件的生产线的步骤。
第二观点的显示元件的缺陷检测方法通过计算显示器件的缺陷密度来判定是否停止生产线。如果缺陷密度高,则缺陷区域集中于一个部位。由于在此种情况下只是修理该部分是无法应对的,因此以缺陷密度作为判定的基准。
第三观点的显示器件的缺陷检测装置具备:特征量判定部,其对显示器件的每个局部区域计测特征量,判定计测出的区域的特征量是否在第一范围内;差值判定部,其对于在该特征量判定部中被判定为第一范围内的局部区域,算出该局部区域的特征量与该局部区域的周边的局部区域的特征量的差值,判定该差值是否在第二范围内。
即使局部区域的特征量落入第一范围内,如果局部区域与其周边的局部区域的差异大,则观看显示器件的人的眼睛也会将其视为亮度不均。由此,该显示器件的缺陷检测装置算出局部区域的特征量与该局部区域的周围的局部区域的特征量的差值而检测出成为亮度不均的原因的缺陷。
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