[发明专利]涡轮分子泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种包括多段地设置的转子(rotor)翼、设置于转子翼之间的定子(stator)翼、及支撑定子翼的间隔片(spacer)的涡轮分子泵(turbo-molecular pump)。。

背景技术

实现高真空或者超高真空的涡轮分子泵是通过由转子翼与定子翼所构成的翼排气部，将自吸气口侧吸入的气体分子排出至排气埠(port)侧。高速旋转的转子翼与气体分子碰撞时所产生的摩擦热自转子翼经由定子翼而传递至外壳(case)构件。

如果具有转子翼的转子因摩擦热而变成高温，那么蠕变(creep)的速度会变快，所以在外壳构件设置冷却管，使冷却媒体在冷却管内循环而冷却涡轮分子泵(例如，参照专利文献1)。

背景技术文献

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2006-90623号公报

近年来，在半导体装置的制造等中，晶片(wafer)变得大型化，而有导入至处理腔室(process chamber)内的气体的流量增大的趋势。如果气体的流量增大，那么转子翼中的摩擦热会变大，而使转子变成高温。因此，仅在外壳构件设置冷却管会使转子超过容许温度，而使蠕变的速度变快。

发明内容

本发明的涡轮分子泵包括：外壳构件；转子，收纳于外壳构件内，且包括多段地排列的转子翼；转子轴，与转子同轴地设置；多个定子翼，设置于外壳构件的内面，且配置于转子翼之间；及多个间隔片，支撑各定子翼；且多个间隔片中的一个具有覆盖在上方或者下方所邻接的至少一个间隔片的外周侧面的冷却用厚壁部；在冷却用厚壁部设置着使冷却媒体循环的冷却管。

[发明的效果]

根据本发明，可经由设置于间隔片的冷却用厚壁部的冷却管使转子充分地冷却，所以可延缓转子的蠕变的速度。

附图说明

图1是表示本发明的涡轮分子泵的一实施方式的剖视图。

图2是对比表示现有品与实施例中的间隔片及转子的温度分布的图。

图3是表示本发明的涡轮分子泵的实施方式2的剖视图。

图4是表示本发明的涡轮分子泵的实施方式3的剖视图。

图5是表示本发明的涡轮分子泵的实施方式4的剖视图。

1：涡轮分子泵                   2：涡轮排气部

3：螺纹槽排气部                 5：转子轴

6：转子翼                       7：定子翼

8：转子                         9：转子圆筒部

11：外壳构件                    12：上外壳

13：基座                        14：螺纹定子

15：吸气口                      20、20a、20A～20C：间隔片

21、21A～21C：冷却用厚壁部      22：槽

31、32：磁轴承                  33a、33b：径向移位传感器

33c：轴向移位传感器             34、36：机械轴承

35：电动机                      38：转子盘

41：法兰                        41a：法兰41的上段部

42：槽                          43：下部法兰

44：上部法兰                    45：排气埠

51、52：冷却管

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的涡轮分子泵其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

实施方式1

图1是磁轴承式涡轮分子泵的剖视图。涡轮分子泵1包括具有上外壳12及基座(base)13的外壳构件11。详细情况于下文进行叙述，作为间隔片20的一部分的冷却用厚壁部21也构成外壳构件11。在上外壳12的上端侧设置着上部法兰(flange)44，在下端侧设置着下部法兰43。上外壳12例如根据日本不锈钢标准(Steel Use Stainless，SUS)而形成，基座13例如由铝而形成。