[发明专利]Mach-Zehder干涉仪结构的硅基光隔离器

说明书

技术领域

本发明涉及一种片上特定频率滤波光隔离器，尤其涉及一种Mach-Zehder干涉仪结构的硅基光隔离器。

背景技术

光隔离器是一种在光学传播介质（器件）中允许光信号单向传输的无源光器件，在光纤通信系统和大规模集成光路中阻止反射光信号的传播。目前常见的光隔离器的工作原理主要基于法拉第旋转的非互易性和非线性效应。但是法拉第旋转效应的光隔离器不适宜大规模集成，而非线性效应光隔离器对传播的光信号强度有额外要求。为解决这些问题，本发明提出了一种与现有CMOS工艺相容的硅基线性Mach-Zehder干涉仪结构的光隔离器。

发明内容

本发明提供了一种Mach-Zehder干涉仪结构的硅基光隔离器，其特征在于，包括一个硅基Mach-Zehder干涉仪和实施在所述Mach-Zehder干涉仪上臂、下臂的上微扰调制结构、下微扰调制结构，

所述上微扰调制结构将沿上臂正向传播的一特定频率光信号耦合成一目标频率的光信号，所述下微扰调制结构将沿下臂正向传播的光信号耦合成所述目标频率的光信号，所述下微扰调制结构耦合产生的目标频率光信号与所述上微扰调制结构产生的目标频率光信号相位相反；当光信号沿干涉仪反向传播时上臂及下臂均不发生信号耦合。

较佳地，所述含时微扰调制结构实施于所述上壁波导、下壁波导的方法为：

在所述上臂与下臂的硅基波导中进行掺杂，造成折射率的起伏，然后对掺杂后的波导通电，造成折射率的时间变化。

较佳地，所述上微扰调制结构的调制函数为：ϵ′(z,t)=δ(x)cos(Ωt-(-q)z+π)-d2<x<0δ(x)cos(Ωt-(-q)z)0<x<d2,]]>