[发明专利]偏振光照射装置

权利要求书

1.一种偏振光照射装置，其特征在于包括：

线状的光源，照射紫外线；

多个第1偏振元件，配置于沿所述光源的长边方向的不同位置，并且被所述光源照射所述紫外线；

可动部，能够变更所述多个第1偏振元件的安装角度；

第2偏振元件，配置于与所述第1偏振元件相对向的位置，被通过所述第1偏振元件的所述紫外线照射；

受光单元，接收通过所述第1偏振元件及所述第2偏振元件的所述紫外线；

移动单元，使所述第2偏振元件及所述受光单元沿所述光源的长边方向移动；以及

控制装置，根据所述受光单元所接收的所述紫外线的强度，控制所述可动部，以使通过所述多个第1偏振元件的所述紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内，所述基准方向成为振动方向的基准；

所述受光单元通过所述移动单元而移动，对于通过所述多个第1偏振元件的各个的所述紫外线的强度进行检测。

2.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述可动部包括元件用可动部，所述元件用可动部能够变更围绕着轴心的安装角度，所述轴心是自所述光源向所述第1偏振元件的轴心。

3.根据权利要求2所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述控制装置根据所述受光单元所接收的所述紫外线的强度，算出所述紫外线的所述基准方向与通过所述第1偏振元件的所述紫外线的振动方向所成的角度，并对所述可动部进行控制，以使所述角度为±0.1°以内。

4.根据权利要求3所述的偏振光照射装置，其特征在于还包括：

受光侧可动部，使所述第2偏振元件围绕着所述轴心旋转，

所述控制装置一面使所述第2偏振元件围绕着所述轴心旋转，一面算出所述受光单元所接收的所述紫外线的强度最强的所述第2偏振元件的方向与所述基准方向之间的角度，作为所述基准方向与通过所述第1偏振元件的所述紫外线的振动方向所成的角度。