[发明专利]电感耦合等离子体处理装置无效
| 申请号： | 201310346831.X | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103917036A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李炅锡;丘炳熙;金正泰;孙东植;李庆汉;林正焕;崔智淑 | 申请（专利权）人： | 丽佳达普株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，具备：
腔室；
电介质窗，位于所述腔室的上部；
天线，安装在所述电介质窗的上侧；以及
天线支撑架，用于支撑所述天线，且处于接地，
所述天线具备：
从电源延伸出的主干部；
多个第一总线圈，从所述主干部分支而成；
至少一个第二总线圈，从所述第一总线圈的末端分支而成；
多个源线圈，从所述第二总线圈分支而成，且各末端与所述天线支撑架形成接地，
所述第二总线圈上分别安装有第二总线圈可变电容器控制装置。
2.根据权利要求1所述的电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，
位于所述天线支撑架的上部的所述源线圈被设置为，相邻的所述源线圈的电流方向相反。
3.根据权利要求1所述的电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，
所述第一总线圈上分别安装有第一总线圈可变电容器控制装置。
4.根据权利要求3所述的电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，
所述第一总线圈可变电容器控制装置设置在使各个所述第一总线圈侧的电感值相等的位置。
5.根据权利要求1所述的电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，
所述可变电容器控制装置包括：连接在所述天线上的可变电容器、使所述可变电容器自动旋转的电机以及检测所述电机的旋转的外部编码器。
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