[发明专利]用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的加热器

权利要求书

1.一种用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的聚酰亚胺加热器，该聚酰亚胺加热器设置在感应耦合等离子体腔室顶部，该感应耦合等离子体腔室包含反应腔（100）和设置在反应腔（100）顶部的射频窗（3），连接气体源（33）的输气管道（104）穿过射频窗（3），将反应气体注入反应腔（100）内，反应腔（100）内设置有载片台（6），载片台（6）用于放置待处理的晶元，反应腔（100）连接真空泵（5），该感应耦合等离子体腔室上方或侧壁还设置线圈（222），以及连接线圈（222）的射频电源（4）；所述的聚酰亚胺加热器设置在射频窗（3）上，其特征在于，该聚酰亚胺加热器包含加热器（2）和风扇（1），所述的加热器（2）为镂空三明治结构，该加热器（2）包含上绝缘层（21）、下绝缘层（22）、以及设置在上绝缘层（21）和下绝缘层（22）之间的电热丝（23），该加热器（2）还包含镂空部分（24），切除加热器（2）上未设置电热丝（23）的部分，形成镂空部分（24），作为风扇冷却沟道。

2.如权利要求2所述的用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的聚酰亚胺加热器，其特征在于，所述的电热丝（23）螺旋盘绕设置在加热器（2）上，上绝缘层（21）和下绝缘层（22）将电热丝（23）完整地包覆住。

3.如权利要求2所述的用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的聚酰亚胺加热器，其特征在于，加热器（2）的尺寸小于等于射频窗（3）的尺寸。

4.如权利要求3所述的用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的聚酰亚胺加热器，其特征在于，所述的加热器（2）的上绝缘层（21）和下绝缘层（22）都采用聚酰亚胺材料。

5.如权利要求4所述的用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的聚酰亚胺加热器，其特征在于，所述的加热器（2）和风扇（1）分别独立供电。

6.一种具有控温装置的感应耦合等离子体腔室，其特征在于，该感应耦合等离子体腔室包含反应腔（100）和设置在反应腔（100）顶部的射频窗（3），连接气体源（33）的输气管道（104）穿过射频窗（3），将反应气体注入反应腔（100）内，反应腔（100）内设置有载片台（6），载片台（6）用于放置待处理的晶元，反应腔（100）连接真空泵（5），该感应耦合等离子体腔室上方或侧壁还设置线圈（222），以及连接线圈（222）的射频电源（4），该控温装置设置在感应耦合等离子体腔室顶部的射频窗（3）上，该控温装置包含加热器（2）和风扇（1），所述的加热器（2）包含上绝缘层（21）、下绝缘层（22）、以及设置在上绝缘层（21）和下绝缘层（22）之间的电热丝（23），该加热器（2）还包含镂空部分（24），切除加热器（2）上未设置电热丝（23）的部分，形成镂空部分（24），使电热丝之间的部分射频窗（3）暴露于风扇形成的气流。

7.如权利要求6所述的具有控温装置的感应耦合等离子体腔室，其特征在于，加热器（2）的尺寸小于等于射频窗（3）的尺寸。

8.如权利要求7所述的具有控温装置的感应耦合等离子体腔室，其特征在于，所述的电热丝（23）螺旋盘绕设置在加热器（2）上，上绝缘层（21）和下绝缘层（22）将电热丝（23）完整地包覆住。

9.如权利要求8所述的具有控温装置的感应耦合等离子体腔室，其特征在于，所述的加热器（2）的上绝缘层（21）和下绝缘层（22）都采用高分子聚合物。

10.如权利要求9所述的具有聚酰亚胺加热器的感应耦合等离子体腔室，其特征在于，所述的加热器（2）和风扇（1）分别独立供电。