[发明专利]掩模版固定装置及方法

权利要求书

1.一种掩模版固定装置，其特征在于，包括具有若干凸台的承版台、若干刚性柱以及若干柔性装置，每个凸台具有一真空腔，所述真空腔内设有所述刚性柱和柔性装置，所述刚性柱的上表面和所述凸台的掩模吸附面共面，在真空开启前，所述柔性装置的上表面处于比所述掩模吸附面高的放松状态，在真空开启后，所述柔性装置的上表面受到掩模版的挤压压缩至所述掩模吸附面的高度。 

2.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，在真空开启前，所述掩模版的下表面与掩模吸附面存在Δ值为5um-20um的高度差。 

3.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述承版台上设有与所述真空腔相连通的通道。 

4.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述柔性装置是一体式软弹性材料零件。 

5.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述柔性装置通过粘接方式固定于真空腔内。 

6.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述刚性柱和承版台一体成型。 

7.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述柔性装置包括刚性销和柔性垫，所述柔性垫形成于所述刚性销的顶部。 

8.根据权利要求7所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述刚性销、刚性柱以及承版台一体成型。 

9.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述柔性装置是呈线型的柔性壁。 

10.根据权利要求9所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述柔性装置是呈“S”型的柔性壁。 

11.根据权利要求9所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述柔性壁和所述 承版台的材料相同。 

12.根据权利要求9所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述柔性壁的厚度为0.1mm-0.6mm。

13.根据权利要求1所述的掩模版固定装置，其特征在于，所述刚性柱和柔性装置间隔分布。 

14.一种掩模版固定方法，其特征在于，采用如权利要1～13中任意一项所述的掩模版固定装置，包括如下步骤： 

当进行上版时，掩模固定装置的真空开启，掩模版与承版台之间的真空建立，柔性装置受到掩模版的挤压发生弹性变形，直至掩模版与掩模吸附面完全接触； 

当进行下版时，掩模固定装置的真空关闭，原已经发生弹性变形的柔性装置释放变形，将掩模版推顶至真空开启前的高度位置，掩模版与承版台之间的真空得到快速而有效的释放，直至掩模版只与柔性装置存在接触面。