[发明专利]电感耦合线圈及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种电感耦合线圈，其特征在于，所述电感耦合线圈包括径向截面不同的中心部和边缘部。

2.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，

所述中心部由纵向长度与横向长度比不小于1的第一线圈组成；

所述边缘部由纵向长度与横向长度比不大于1的第二线圈组成。

3.根据权利要求2所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述第一线圈相对于所述反应腔室的中心区域螺旋且水平或竖直缠绕至少一匝；

所述第二线圈相对于所述反应腔室的边缘区域螺旋且水平或竖直缠绕的至少一匝。

4.根据权利要求2所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述第一线圈与所述第二线圈并联；或者

所述第一线圈与所述第二线圈串联。

5.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述中心部包括多个第一线圈，每个所述第一线圈纵向长度与横向长度比不小于1；

所述边缘部包括多个第二线圈，每个所述第二线圈纵向长度与横向长度比不大于1。

6.根据权利要求5所述的电感耦合线圈，其特征在于，每个所述第一线圈螺旋且水平或竖直缠绕至少一匝，并且所述多个第一线圈彼此并联，且相互嵌套；

每个所述第二线圈螺旋且水平或竖直缠绕至少一匝，并且所述多个第二线圈彼此并联，且相互嵌套。

7.根据权利要求5所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述多个第一线圈与所述多个第二线圈并联；或者

所述多个第一线圈与所述多个第二线圈串联。

8.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述中心部由纵向长度与横向长度比不小于1的第一线圈组成，所述第一线圈相对于所述反应腔室的中心区域螺旋且水平或竖直缠绕至少一匝；

所述边缘部包括多个第二线圈，每个所述第二线圈纵向长度与横向长度比不大于1，每个所述第二线圈螺旋且水平或竖直缠绕至少一匝，并且所述多个第二线圈彼此并联，且相互嵌套。

9.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述中心部包括多个第一线圈，每个所述第一线圈纵向长度与横向长度比不小于1，每个所述第一线圈螺旋且水平或竖直缠绕至少一匝，并且所述多个第一线圈彼此并联，且相互嵌套；

所述边缘部由纵向长度与横向长度比不大于1的第二线圈组成，所述第二线圈相对于所述反应腔室的边缘区域螺旋且水平或竖直缠绕的至少一匝。

10.根据权利要求2所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述第一线圈纵向长度与横向长度比大于1.2:1。

11.根据权利要求10所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述第一线圈纵向长度与横向长度比为1.5:1或者2:1。

12.根据权利要求2所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述第二线圈纵向长度与横向长度比小于1:1.2。

13.根据权利要求12所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述第二线圈纵向长度与横向长度比1:1.5或者1:2。

14.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述中心部和边缘部的径向截面的形状包括椭圆形、纵向长度与横向长度比不等于1的多边形或不规则形。

15.一种等离子体加工设备，包括反应腔室和设置在所述反应腔室内的卡盘，所述卡盘用以承载被加工工件，其特征在于，

在所述反应腔室的顶壁上方设有如权利要求1-14任意一项所述的电感耦合线圈，所述电感耦合线圈依次与匹配器及激励电源电连接，用以激发所述反应腔室内的反应气体形成等离子体。

16.根据权利要求15所述的等离子体加工设备，其特征在于，

所述电感耦合线圈中心部的投影位于所述被加工工件的外缘内侧的区域内；

所述电感耦合线圈边缘部的投影位于环绕在所述被加工工件的外围的区域内。