[发明专利]一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种应用于浸没式光刻机中的通讯方法，特别是涉及一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法。

背景技术

光刻机是制造超大规模集成电路的核心装备之一，现代光刻机以光学光刻为主，它利用光学系统把掩膜版上的图形精确地投影并曝光在涂过光刻胶的硅片上。它包括一个激光光源、一个光学系统、一块由芯片图形组成的投影掩膜版、对准系统、机械传动系统和控制分系统。

浸没式光刻（Immersion Lithography）设备通过在最后一片投影物镜与硅片之间填充某种高折射率的液体，相对于中间介质为气体的干式光刻机，提高了投影物镜的数值孔径（NA），从而提高了光刻设备的分辨率和焦深。在已提出的下一代光刻机中，浸没式光刻对现有设备改动最小，对现在的干式光刻机具有良好的继承性。目前常采用的方案是局部浸没法，即将液体限制在硅片上方和最后一片投影物镜的下表面之间的局部区域内，并保持稳定连续的液体流动。

从传统光刻到浸没式光刻，浸没式光刻机中浸液液体传送系统是实现稳定连续的液体流动的一项关键环节。已有的浸没式光刻机中浸液液体传送系统一般都由若干个分系统集成，因此分系统间通讯架构及通讯方法很大程度上决定了浸没式光刻机中浸液液体传送系统能否灵活高效地运行。

发明内容

为了解决浸没式光刻机中浸液液体传送系统中控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统、位姿调节分系统之间的通讯问题，本发明的目的在于提供一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法。

本发明采用的技术方案包括以下步骤：

本发明包括作为服务器的控制分系统，作为客户端的水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统；控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间构建形成网络拓扑结构，且采用以太网进行数据交换；采用服务器/客户端模式，在控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间建立虚拟通讯关系，为每对虚拟通讯关系建立一条虚拟通讯链路，每条虚拟通讯链路维护物理上的一对节点的会话。

所述的通讯方法的实现是多个系统之间或一个系统的多个模块之间通讯。

所述的以太网协议采用TCP/IP或UDP/IP协议。

所述的虚拟通讯关系是通过创建套接字来收发报文以实现数据传输。

所述的虚拟通讯链路维护物理上的一对节点的会话包括以下步骤：

（1）采用服务器/客户端模式，控制分系统为服务器，水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统为客户端；

（2）服务器创建套接字，并对其初始化；

（3）服务器开始监听客户端的连接请求；

（4）客户端创建套接字，初始化后向服务器请求连接；

（5）服务器接收到客户端的连接请求后，验证其IP地址，若为已知IP地址，则接受请求，若为未知IP地址，则拒绝请求；

（6）当服务器与客户端成功连接后，虚拟通讯链路打开，服务器与客户端实现双向数据收发；

（7）当客户端关机时，需要关闭虚拟通讯链路，客户端向服务器发送断开信号，然后双方关闭套接字，断开虚拟通讯链路，结束通讯。

所述的虚拟通讯链路不仅能实现报文数据的传输，还能实现文件的传输。

所述的虚拟通讯链路能在虚拟通讯关系意外断开时进行重新连接，或重新连接失败时进行报警。

所述的每条虚拟通讯链路都有对报文数据进行算法校验的模块。

本发明具有的有益效果是：

1. 本发明采用以太网实现控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统、位姿调节分系统的数据交换，解决了控制分系统和水处理分系统、传输控制分系统、位姿调节分系统之间因为采用不同的操作系统而造成的通讯不兼容问题，极大地扩展了控制分系统在与水处理分系统、传输控制分系统、位姿调节分系统进行通讯时的兼容性，提高了代码编写的自由度。

2. 本发明在虚拟通讯链路中设计了重连及报警机制，当两个节点之间的虚拟通讯关系意外断开时，该机制将尝试重新建立连接，若无法恢复虚拟通讯关系则报警，提高了通讯链路的可控性。同时设计了报文校验算法，对每份传输的报文都进行校验，从而保证了传输数据的准确性，增加了通讯的可靠性。

附图说明

图1是浸液液体传送系统的网络拓扑结构图。

图2是虚拟通讯关系和虚拟通讯链路图。

图3是虚拟通讯链路实现通讯的流程图。

图4是节点实现通讯的软件运行机制图。