[发明专利]一种提高电化学法合成硬碳膜中金刚石含量的方法有效
申请号: | 201310280050.5 | 申请日: | 2013-07-04 |
公开(公告)号: | CN103361697A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 张贵锋;侯晓多;邓德伟 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | C25D9/04 | 分类号: | C25D9/04 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 侯明远 |
地址: | 116024*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 电化学 合成 硬碳膜中 金刚石 含量 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种提高电化学法合成硬碳膜中金刚石含量的方法,是以甲醇或乙醇为反应溶液,加入去离子水,甲醇或乙醇的体积百分比为10-80%,甲醇或乙醇水溶液中加入0.1-30%甲酸或乙酸,活性氧化剂臭氧抑制伴生的石墨相,提高沉积薄膜中金刚石相的相对含量,通入的臭氧气体对反应液起到搅拌作用,调节反应液的温度,提高沉积薄膜的均匀性;其特征是在电化学反应的过程中连续不断地通入活性氧化剂臭氧,臭氧通入量为0-200mg/h。
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