[发明专利]用于进/排气阀的涂层材料及其制造方法在审
| 申请号： | 201310271867.6 | 申请日： | 2013-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN103668058A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 车星澈 | 申请（专利权）人： | 现代自动车株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 气阀 涂层 材料 及其 制造 方法 | ||
1.一种用于进/排气阀的涂层材料，包括
Cr或Ti粘结层，形成在所述进/排气阀的母材上；
WC、CrN、TiN或TiCN支撑层，布置在所述粘结层的表面上；以及
Si-DLC或SiO-DLC功能层，布置在所述支撑层的表面上。
2.如权利要求1所述的用于进/排气阀的涂层材料，其中，
所述粘结层的厚度为约0.01～0.5μm，所述支撑层的厚度为约0.1～5μm，且所述功能层的厚度为约0.1～10μm。
3.如权利要求1所述的用于进/排气阀的涂层材料，其中，
所述粘结层布置在所述母材的整个外表面上，所述支撑层布置在所述粘结层的整个外表面上，且所述功能层布置在所述支撑层的整个外表面上。
4.如权利要求1所述的用于进/排气阀的涂层材料，其中，
所述功能层中Si的原子百分比为约4～12%。
5.一种制造用于进/排气阀的涂层材料的方法，包括：
提供真空状态的室，并使所述真空状态转变成等离子体状态；
将由母材形成的所述进/排气阀布置在所述室的内部，并在所述母材的表面上沉积Cr或Ti粘结层；
在所述粘结层的表面上沉积WC、CrN、TiN或TiCN支撑层；以及
在所述支撑层的表面上沉积Si-DLC或SiO-DLC功能层。
6.如权利要求5所述的制造用于进/排气阀的涂层材料的方法，其中，
在沉积所述粘结层之前，活化并洗涤所述母材的表面。
7.如权利要求5所述的制造用于进/排气阀的涂层材料的方法，其中，
所述粘结层的厚度为约0.01～0.5μm，所述支撑层的厚度为约0.1～5μm，且所述功能层的厚度为约0.1～10μm。
8.如权利要求5所述的制造用于进/排气阀的涂层材料的方法，其中，
所述功能层中Si的原子百分比为约4～12%。
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