[发明专利]一种陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法

权利要求书

1.一种陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）预处理：对陶瓷材料制品表面进行抛光、清洗预处理；

（2）金属镀膜：在预处理后的陶瓷材料制品表面镀金属膜，所述金属膜的厚度为0.01～100μm；

（3）涂覆感光材料：在步骤（2）所述的金属膜上涂覆耐腐蚀的感光材料；

（4）曝光显影：设计所需要的图案并制作菲林或掩膜板，将菲林或掩膜板遮盖在步骤（3）中的感光材料上，充分曝光，然后用显影液清洗除掉未曝光的感光材料；

（5）化学蚀刻：根据步骤（2）中的金属膜配制蚀刻液，对经过步骤（4）处理后的陶瓷材料制品表面金属膜进行蚀刻；

（6）除去感光材料：将蚀刻好的陶瓷材料制品表面用溶剂或碱性溶液清洗，除去固化的感光材料，露出金属膜层图案即可。

2.如权利要求1所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（1）预处理中的抛光处理包括机械研磨抛光、抛光粉抛光、或其它物理、化学抛光法；所述预处理中的清洗处理包括等离子清洗、超声清洗、化学清洗或其它表面清洁处理方法。

3.如权利要求1所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（2）中采用物理气相沉积、化学气相沉积、磁控溅射、多弧离子镀膜或其他真空镀膜方式在预处理后的陶瓷材料制品表面镀金属膜，所述金属膜的材质可为金、银、铂、钨、锆、锌、锰、镍、钛、铬、镁、铝、不锈钢、铁、铜中的一种或至少两种的合金。

4.如权利要求1或3所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（2）中在预处理后的陶瓷材料制品表面镀金属膜的过程中通入有反应气体，所述反应气体为氩气、氮气、乙炔、氧气、甲烷、乙烷、乙烯、氢气中的一种或至少两种的混合气体。

5.如权利要求1所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（3）中的感光材料为光刻胶或高解析度的光固化油墨；优选地，所述高解析度的光固化油墨为UV油墨。

6.如权利要求1或5所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（3）中采用旋涂、浸涂、喷涂、辊涂、刮涂或丝网印刷的方式在金属膜上涂覆感光材料。

7.如权利要求1所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（4）中在激光、可见光、红外光或紫外光下曝光，曝光时间为0.1～10min。

8.如权利要求1或7所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（4）中的显影液为Na₂CO₃、NaHCO₃、NaOH、KOH、Ba(OH)₂、K₂CO₃、KHCO₃、氨水中的一种或至少两种的混合液；优选地，所述显影液的浓度为0.01～5wt%、温度为10～80℃，清洗时间为0.1～30min。

9.如权利要求1所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述步骤（6）中的溶剂为乙醇、异丙醇、丁醇、乙酸、乙酸乙酯、乙酸丁酯、甲苯、丙酮、丁酮、乙醚、汽油、丁基卡必醇中一种或至少两种的混合液，碱性溶液为Na₂CO₃、K₂CO₃、NaOH、KOH、Ba(OH)₂、K₂CO₃、KHCO₃、氨水中的一种或至少两种的混合液。

10.如权利要求1所述的陶瓷材料制品表面高精度金属图案的加工方法，其特征在于，所述方法还包括：

（7）后期加工处理：对图案表面进行化学镀或电镀处理，使得陶瓷材料制品表面的金属图案厚度为0.01～1000μm。