[发明专利]一种体全息透射光栅衍射效率测试仪

权利要求书

1.一种体全息透射光栅衍射效率测试仪，其特征在于，包括：光源模块、前置单色仪、测量单色仪和测控系统；

所述前置单色仪可在将所述光源模块提供的光源进行光学处理后，为所述测量单色仪提供测量光源；所述测控系统可将所述测量单色仪进行测量后得到的信号光进行检测和衍射效率的计算；

所述的测量单色仪的壳体（44）内分别设有在光路方向上依次设置的：第二入射狭缝（32）、第二凹面准直镜（33）、第三平面反射镜（35）、样品夹具（36）、第四平面反射镜（41）、第二凹面成像镜（42）、以及第二出射狭缝（43）；

所述第二凹面准直镜（33）安置在第二入射狭缝（32）和光束经透镜组（31）的光路光轴上；所述第三平面反射镜（35）设置在第二转台（34）上；所述第四平面反射镜（41）设置在第三转台（40）上；所述样品夹具（36）设置在夹具轨道（39）上；所述样品夹具（36）上可以放置待测体全息透射光栅（37）或参考透射镜（38），样品夹具（36）可以沿着夹具轨道（39）移动；所述第二出射狭缝（43）位于第二凹面成像镜（42）的反射光束的光路上，且位于第二凹面成像镜（42）的焦面上；所述第二凹面成像镜（42）可将信号光反射至测控系统。

2.根据权利要求1所述的体全息透射光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述的光源模块在光路方向上依次包括：钨灯（19）和氘灯（20）；第一平面反射镜（21）和第二平面反射镜（22）、以及聚光镜（23）。

3.根据权利要求1所述的体全息透射光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述的前置单色仪的前置单色仪壳体（30）内，在光路方向上依次包括：第一入射狭缝（24）、第一凹面准直镜（25）、分光光栅组（26）、第一转台（27）、第一凹面成像镜（28）、以及第一出射狭缝（29）。

4.根据权利要求1-3中的任意一项所述的体全息透射光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述测控系统包括：探测系统（45）和控制器（46）；所述控制器（46）可以对所述探测系统（45）的测量结果进行衍射效率的计算处理和显示。