[发明专利]一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法

权利要求书

1.一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：在光栅光谱仪光路中加入一个法布里－珀罗腔扫描滤波器，滤波器的腔长可调，调制范围为待侧信号光最大波长的1/2；当法布里－珀罗腔扫描滤波器处于初始腔长时，仅将信号光中的部分谱线滤出；被滤出的这一部分谱线能够被线阵探测器分辨并采集；利用驱动器改变法布里－珀罗腔的腔长，将信号光中另一部分的谱线滤出；被滤出的这一部分谱线也能够被线阵探测器分辨并采集；将不同腔长下采集的各部分光谱进行合成，实现宽光谱范围的光谱拼接；光谱拼接后所获得的包络面即为信号光被检测到的光谱图，该光谱图相对未加法布里－珀罗腔扫描滤波的光栅光谱仪而言，其分辨率有明显增强。

2.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述光栅光谱仪中经准直后的信号光发散角应该保证信号光入射至法布里－珀罗腔后不出现干涉条纹，而仅对信号光光强进行调制，保证法布里－珀罗腔的滤波功能。

3.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述法布里－珀罗腔的腔镜面积不小于光栅的面积，以保证光谱仪的光通量。

4.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述法布里－珀罗腔的初始腔长应使被滤出的谱线能够被线阵探测器分辨。

5.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述法布里－珀罗腔扫描滤波器加在准直物镜与光栅之间，或加在光栅与成像物镜之间，只要能实现波长扫描滤波的功能即可。

6.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述光栅与法布里－珀罗腔分离放置于光路，或集成为一体，有利于光谱仪的小型化。

7.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述法布里－珀罗腔的腔面应针对不同的工作波长沉积多层介质反射膜，使腔面反射率大于90％，腔体精细度大于30，以保证法布里－珀罗腔的滤波效果，减小探测误差。

8.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述法布里－珀罗腔扫描滤波器可以采用压电陶瓷驱动或MEMS驱动，驱动方式为是连续扫描或单点驱动，以适应不同条件下对驱动的要求。

9.根据权利要求1所述的一种基于法布里－珀罗腔扫描滤波的光谱分辨率增强方法，其特征在于：所述线阵探测器的采样频率应该使滤波后同一波长的光强从最高值变为最低值时的采样次数不少于4次，以保证光谱探测的精度。