[发明专利]群集式真空接合系统

说明书

技术领域

本申请提供一种群集式真空接合系统，尤指一种高稳定性且具多片传递功能的群集式真空接合系统。

背景技术

传统的真空接合系统为达到较佳的真空质量，其在腔体与腔体之间、及腔体与闸阀之间的结合多为固定式装置，因此在系统的整体规划与腔体数量配置上无法依使用者的实际需求而调整，导致有占用空间、成本提高及闲置时间过长的缺点。另一种传统真空接合系统是采用绕曲式接合颈，其利用一薄片作为制程腔体和传送腔体之间的封合接口。薄片的表面形成一开口，以供传递基板之用。薄片的开口周围与腔体的接头(flange)封合。当两个腔体靠近以真空接合时，腔体施压于薄片的外缘，以使其产生弹性变形并与密封垫圈贴合接触。

目前太阳能面板和液晶面板的尺寸非常巨大，制作面板的腔体的体积亦需相应增大，且因面板的部份制程须在真空环境下制作，故腔体和腔体之间是以真空接合方式彼此相连结。然而，薄片的可变形量较小，因此两腔体于接合前的间隙亦相应地较小，因此传统真空接合系统的结构设计的精度要求极高。如此一来，传统真空接合系统的真空吸附面积大，其较大的真空吸附力会影响到系统的稳定性。举例来说，真空吸附力过大会影响到驱动腔体的动力装置的结构稳定与接头的刚性，如接头因刚性不足而产生变形，则易生真空密合失败。真空吸附力过大还会破坏两接近腔体的相对位置，导致其结构发生拉扯变形；同样地，真空吸附力过大还会破坏接头的平坦容忍度，故传统的真空接合系统不符于现今大型基板或多片式基板的传送需求。

发明内容

本申请旨在提供一种高稳定性且具多片传递功能的群集式真空接合系统，以解决上述的问题。

本申请公开一种应用分离式接合颈的群集式真空接合系统，用来于真空环境下传送一基板并进行相应的制程。所述群集式真空接合系统包含有一腔体、至少一接合颈、一调整机构、一封合薄片以及一密封垫圈。所述腔体可依据使用特性再行区分为一个传送腔体和至少一个制程腔体，其中，所述传送腔体是用来将所述基板传送到所述制程腔体。所述腔体具有至少一凸缘接头。所述接合颈设置于所述凸缘接头上。所述接合颈具有一封板，且所述封板的表面形成有至少一开口。所述调整机构设置于所述腔体与所述接合颈之间，用来调整所述接合颈相对所述腔体的角度。所述封合薄片设置于所述封板的表面。所述封合薄片具有至少一开口，且所述封合薄片的所述开口对齐所述封板的所述开口。所述密封垫圈环绕设置于所述封合薄片的所述开口。

本申请还公开所述群集式真空接合系统还包含有一外部动力装置，连接于所述腔体，用来移动所述腔体与一相邻腔体的相对位置。

本申请还公开所述外部动力装置包含有一基座、一导引件以及一驱动单元。所述基座设置于一轨道上。所述导引件以可活动方式设置于所述基座上，所述导引件具有一驱动块。所述驱动单元以可活动方式设置于所述基座上，且所述腔体设置于所述驱动单元上。所述驱动单元具有二压合面，且所述二压合面的间距大于所述驱动块的尺寸。所述基座包含有一止挡块，用来限制所述驱动单元相对所述基座的移动。

本申请还公开所述驱动块选择性为一柱状结构，且所述驱动单元的所述二压合面分别选择性为一弧面结构。

本申请还公开所述群集式真空接合系统还包含有一抽气装置，设置于所述接合颈上。所述抽气装置包含有一管线、一封闭闸阀、一抽气帮浦与一回压阀门。所述抽气装置还包含有一压力计与一压力开关。

本申请还公开所述群集式真空接合系统还包含有一传送装置以及一开口封合闸门。所述传送装置设置于所述传送腔体的内部，其是用来传送所述基板。所述开口封合闸门设置于所述接合颈的内部并连通所述腔体。所述开口封合闸门为一摇臂翻转式闸门或一平移式闸门。所述开口封合闸门为一单向压力封合型闸门或一双向压力封合型闸门。所述开口封合闸门的强制开启压力差小于5毫米汞柱。

本申请还公开所述接合颈与所述封合薄片分别具有多个开口，所述群集式真空接合系统通过所述接合颈同时传递多个基板。

本申请还公开所述群集式真空接合系统还包含有多个腔体，各腔体连接于一相应接合颈，且各接合颈配置有一相应调整机构、一相应封合薄片与一相应密封垫圈。各腔体利用其接合颈连结至所述传送腔体的所述接合颈，以传送所述基板。