[发明专利]一种提高方阻均匀性的装置

权利要求书

1.一种提高方阻均匀性的装置，其特征在于：包括位于扩散炉管内的进气球碗，所述进气球碗包括进气端、球碗部分和排气端，所述进气端和球碗部分相互连通，所述排气端呈U型，其一端端口封闭，另一端端口与所述球碗部分连接，在排气端与球碗部分的连接处设有阀门，排气端的侧壁上设有孔。

2.根据权利要求1所述的提高方阻均匀性的装置，其特征在于：所述排气端侧壁上孔的个数为4个。

3.根据权利要求1所述的提高方阻均匀性的装置，其特征在于：所述排气端具有两个相对的侧壁，4个孔位于其中一个侧壁上，或分别位于两个相对的侧壁上。

4.根据权利要求1所述的提高方阻均匀性的装置，其特征在于：所述阀门与排气端封闭一端端口的距离为15-20mm。

5.根据权利要求1所述的提高方阻均匀性的装置，其特征在于：所述进气球碗的长度为200mm。

6.根据权利要求1所述的提高方阻均匀性的装置，其特征在于：所述进气端的长度为31.5mm。