[发明专利]微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法

权利要求书

1.一种具有孔径(160)的法布里-珀罗干涉仪装置，所述孔径允许辐射透过，所述装置包括电可调法布里-珀罗干涉仪，所述电可调法布里-珀罗干涉仪具有：

基板(100)，

第一镜结构(101至105)，在所述基板的一个表面上，

第二活动镜结构(111至115)，其中，所述第一镜结构和第二活动镜结构分别包括平行的第一镜和第二镜，

法布里-珀罗腔(150)，位于所述第一镜和第二镜之间，

电极，用于电气控制所述第一镜和第二镜之间的距离，

其特征在于

所述装置在所述基板的另一表面上包括至少一个另外的镜结构(121至125,131至135)，用于在所述装置的所述孔径(160)内形成参考法布里-珀罗干涉仪，用于补偿利用所述电可调法布里-珀罗干涉仪进行的测量。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置在所述基板(100)的所述另一表面上包括两个另外的镜结构，所述两个另外的镜结构为第三镜结构(121至125)和第四镜结构(131至135)，在所述第三镜结构和第四镜结构之间具有确定的间隙(165)，其中，所述间隙用作腔，并且所述第三镜结构和第四镜结构用作所述参考法布里-珀罗干涉仪的镜。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第三镜结构和第四镜结构之间的间隙(165)包括固体材料。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述参考法布里-珀罗干涉仪包括所述电可调法布里-珀罗干涉仪的所述第一镜结构(101至105)、作为腔的所述基板(100)、以及在所述基板的所述另一表面上一个另外的镜结构(121至125)。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述基板(100)在所述参考法布里-珀罗干涉仪的区域包括多个阱，其中，所述另外的镜结构至少部分位于所述阱的底部表面。

6.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述参考法布里-珀罗干涉仪覆盖所述孔径的一部分，其中，所述孔径的中央区域没有所述参考法布里-珀罗干涉仪的层，并且所述参考法布里-珀罗干涉仪延伸到所述装置的所述孔径的边缘区域(162)。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置包括被图案化用于形成所述孔径的材料层(140)，其中，图案化的所述材料层位于所述参考法布里-珀罗干涉仪的另外的镜结构(121至125,131至135)上，并且图案化的所述材料层在所述干涉仪的工作范围内不传输辐射。

8.一种用于生产法布里-珀罗干涉仪装置的方法，其中：

设置基板(11)，

在所述基板的一个表面上设置第一镜结构(12、13)，

设置第二活动镜结构(15至17)，其中，所述第一镜结构和第二活动镜结构分别包括平行的第一镜和第二镜，

在所述第一镜和第二镜之间提供法布里-珀罗腔，

设置电极，用于电气控制所述第一镜和第二镜镜之间的距离，

其特征在于

在所述基板的另一表面上设置至少一个另外的镜结构，用于提供参考法布里-珀罗干涉仪(12、17)，用于补偿利用电可调法布里-珀罗干涉仪进行的测量。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，与针对所述电可调法布里-珀罗干涉仪(12、17)的镜结构的层同时地沉积针对所述参考法布里-珀罗干涉仪的镜结构的层。