[发明专利]一种膜带连续单面化学镀装置及其方法有效

专利信息
申请号: 201310217985.9 申请日: 2013-06-04
公开(公告)号: CN103290393A 公开(公告)日: 2013-09-11
发明(设计)人: 刘永进;张伟锋;高津平;曹颖杰;舒福璋 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十五研究所
主分类号: C23C18/00 分类号: C23C18/00
代理公司: 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 代理人: 朱丽岩
地址: 100176 北京市大*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 连续 单面 化学 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:该装置由阻流搅拌辊(3)、承载平台(4)、导入辊(6)、导出辊(10)和镀液承接盘(7)组成,阻流搅拌辊(3)均匀分布在承载平台(4)上,导入辊(6)位于承载平台(4)前方,导出辊(10)位于承载平台(4)后方,镀液承接盘(7)位于承载平台(4)下方。

2.如权利要求1所述的一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:镀液入口(2)位于第一根阻流搅拌辊的斜上方,镀液出口(5)位于最后一根阻流搅拌辊和承载平台(4)的后方。

3.如权利要求1所述的一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:承载平台(4)两侧各有一根向上的挡液条(11)。

4.如权利要求1所述的一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:承载平台(4)内部是中空的,可以通入液体。

5.一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:膜带由导入辊引导到承载平台上,在承载平台上完成镀制工艺,再由导出辊导出;化学镀液由镀液入口流入承载平台的膜带上表面,形成液膜,最后由镀液出口流出,最后落入镀液承接盘中。

6.如权利要求5所述的一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:承载平台内通热水,通过热水的温度控制镀液的温度。

7.如权利要求5所述的一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:多根阻流搅拌辊来回滚动,起到控制液膜深度、流速和搅拌液膜的作用,使镀液沿膜带传输方向浓度梯度稳定,使化学镀均匀。

8.如权利要求5所述的一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:挡液条使膜带紧贴承载平台表面,防止镀液溢出和流到膜带背面。

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