[发明专利]一种膜带连续单面化学镀装置及其方法有效
| 申请号: | 201310217985.9 | 申请日: | 2013-06-04 |
| 公开(公告)号: | CN103290393A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
| 发明(设计)人: | 刘永进;张伟锋;高津平;曹颖杰;舒福璋 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号: | C23C18/00 | 分类号: | C23C18/00 |
| 代理公司: | 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 | 代理人: | 朱丽岩 |
| 地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 连续 单面 化学 装置 及其 方法 | ||
1.一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:该装置由阻流搅拌辊(3)、承载平台(4)、导入辊(6)、导出辊(10)和镀液承接盘(7)组成,阻流搅拌辊(3)均匀分布在承载平台(4)上,导入辊(6)位于承载平台(4)前方,导出辊(10)位于承载平台(4)后方,镀液承接盘(7)位于承载平台(4)下方。
2.如权利要求1所述的一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:镀液入口(2)位于第一根阻流搅拌辊的斜上方,镀液出口(5)位于最后一根阻流搅拌辊和承载平台(4)的后方。
3.如权利要求1所述的一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:承载平台(4)两侧各有一根向上的挡液条(11)。
4.如权利要求1所述的一种膜带连续单面化学镀装置,其特征在于:承载平台(4)内部是中空的,可以通入液体。
5.一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:膜带由导入辊引导到承载平台上,在承载平台上完成镀制工艺,再由导出辊导出;化学镀液由镀液入口流入承载平台的膜带上表面,形成液膜,最后由镀液出口流出,最后落入镀液承接盘中。
6.如权利要求5所述的一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:承载平台内通热水,通过热水的温度控制镀液的温度。
7.如权利要求5所述的一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:多根阻流搅拌辊来回滚动,起到控制液膜深度、流速和搅拌液膜的作用,使镀液沿膜带传输方向浓度梯度稳定,使化学镀均匀。
8.如权利要求5所述的一种膜带连续单面化学镀方法,其特征在于:挡液条使膜带紧贴承载平台表面,防止镀液溢出和流到膜带背面。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理





