[发明专利]晶舟自动吹扫装置有效
| 申请号： | 201310213627.0 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103264025A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 俞玮;倪立华;裴雷洪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶舟自动吹扫装置，其特征在于，设置在炉管内的装载区，包括：喷嘴、导轨和吹扫控制机构，喷嘴用于喷洒吹扫气体，以实现将晶舟槽内残留物自动清除的功能，在清除过程中，所述喷嘴可沿着所述导轨行进；所述吹扫控制结构用于控制喷嘴的吹扫状态。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述吹扫控制结构为一气缸。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应物为氮气。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述炉管为垂直炉管。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括驱动机构，用于接口控制信号，驱动所述喷嘴在所述导轨上行进。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述喷嘴在其工作状态下配合晶舟的旋转，完成对晶舟的全方位吹扫。
7.一种炉管，其特征在于，包括权利要求1-6任一所述晶舟自动吹扫装置。
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