[发明专利]复合材料的微机电装置与其制作方法

权利要求书

1.一种复合材料的微机电装置，其特征在于，包括：

振动单元，用以沿第一轴向来回振动，其中该振动单元包括：

刚性元件，包括第一表面、第二表面以及第三表面，其中该第一表面面向该第一轴向的第一方向，该第二表面面向该第一轴向的第二方向，其中该第一方向相反于该第二方向，该第三表面连接该第一表面与该第二表面；

第一材料，设置于该刚性元件的该第一表面与该第二表面上；以及

第二材料，为导电材料且设置于该第一材料上并延伸至该刚性元件，使该第二材料电性连接至该刚性元件，

其中，温度变化时，该第一材料的杨氏系数变化方向与该刚性元件的杨氏系数变化方向相反。

2.根据权利要求1所述的复合材料的微机电装置，其中该第二材料延伸至该刚性元件的该第三表面，使该第二材料电性连接至该刚性元件的该第三表面。

3.根据权利要求1所述的复合材料的微机电装置，其中该刚性元件的材料为硅且该第一材料包括二氧化硅。

4.根据权利要求3所述的复合材料的微机电装置，其中该第二材料包括多晶硅。

5.一种复合材料的微机电装置，其特征在于，包括：

振动单元，包括：

质量块，该质量块为刚性元件，用以沿第一轴向来回振动，其中该质量块包括第一表面、第二表面以及第三表面，其中该第一表面面向该第一轴向的一第一方向，该第二表面面向该第一轴向的第二方向，其中该第一方向相反于该第二方向，该第三表面连接该第一表面与该第二表面；以及

可挠曲元件，连接到该质量块；

第一材料，设置于该质量块的该第一表面与该第二表面上；以及

第二材料，为导电材料且设置于该第一材料并延伸至该质量块，使该第二材料电性连接至该质量块，

其中，温度变化时，该第一材料的杨氏系数变化方向与该质量块的杨氏系数变化方向相反。

6.根据权利要求5所述的复合材料的微机电装置，其中该第二材料延伸至该质量块的该第三表面，使该第二材料电性连接至该质量块的该第三表面。

7.根据权利要求5所述的复合材料的微机电装置，其中该质量块的材料为硅且该第一材料是二氧化硅。

8.根据权利要求7所述的复合材料的微机电装置，其中该第二材料包括多晶硅。

9.根据权利要求7所述的复合材料的微机电装置，其中该第一材料覆盖整个该第一表面及整个该第二表面且该质量块的断面宽度w1与该第一材料的断面宽度w2满足下列方程式：

(w136w12·w2+2w23)=CT,]]>其中C_T为温度常数。

10.根据权利要求5所述的复合材料的微机电装置，其特征在于，还包括：

电极，沿该第一轴向设置于该质量块的两侧；

第三材料，设置于该电极沿该第一轴向来回振动方向的外表面；以及

第四材料，为导电材料且设置于该第三材料并延伸至该电极的下表面，

其中，该第三材料包括二氧化硅且第四材料包括多晶硅。

11.根据权利要求5所述的复合材料的微机电装置，其特征在于，还包括：

固定座，其中，该可挠曲元件连接该固定座及该质量块的节点。