[发明专利]一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置

权利要求书

1.一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置，其特征在于：基于滚珠定位的三自由度精密调节装置（S2）安装在浸没式光刻机主框架（1）与光刻机浸没单元（S3）之间，基于滚珠定位的三自由度精密调节装置（S2）通过安装基板安装孔（4D）安装到主框架（1）上，光刻机浸没单元（S3）通过浸没单元安装孔（9C）安装到连接板（9）上；安装基板（4）和连接板（9）之间通过三组结构相同的运动支链以并联方式相连；其中：

每组运动支链：包括直线运动副（5）、滚珠固定块（6）、滚珠（7）和两根导向圆柱（8）；直线运动副固定部件（5B）安装在安装基板（4）上成圆周分布的安装槽（4A）底面；在直线运动副运动部件（5A）下方安装滚珠固定块（6）；滚珠（7）镶嵌在滚珠定位块（6）中，滚珠（7）与两根相互平行的导向圆柱（8）相切，并且滚珠（7）能沿导向圆柱（8）所确定的导向槽滚动；导向圆柱（8）镶嵌在导向圆柱槽（9A）内的两侧；

在每组运动支链两侧分别有一根预紧弹簧（10），在安装基板弹簧安装孔（4B）和连接板弹簧安装孔（9B）位置分别固定一个弹簧挂杆（11），预紧弹簧（10）两端挂在相应的弹簧挂杆（11）上；预紧弹簧（10）预紧力确保滚珠（7）与导向圆柱（8）相接触。

2.根据权利要求1所述的一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置，其特征在于：所述的连接板（9）上的三个导向圆柱槽（9A）中心线相互之间不平行。

3.根据权利要求1所述的一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置，其特征在于：每组运动支链中直线运动副运动部件（5A）在外界驱动下沿安装基板中心孔（4C）轴线Z轴方向运动；滚珠（7）在直线运动副运动部件（5A）的驱动下顶升连接板对应部位沿Z轴方向运动，与此伴随着滚珠（7）沿导向圆柱槽的滚动；每组运动支链能独立运动。