[发明专利]旋转式X射线分层摄影检测系统与方法

权利要求书

1.旋转式X射线分层摄影检测系统，包括：X射线平面探测器、载物台、旋转台、运动控制与数据计算装置、X射线管，在与载物台顶面平行的平面建立直角坐标系的X轴和Y轴，并以该坐标系的原点、X轴和Y轴建立空间直角坐标系，其特征在于，旋转台位于X射线管与X射线平面探测器之间，载物台位于旋转台上，被检测物体位于载物台上：X射线平面探测器中心、载物台中心和X射线管的辐射点S在同一条直线上；运动控制与数据计算装置控制旋转台的Z轴方向旋转和X轴方向平动，载物台X轴方向和Y轴方向平动，以及X射线平面探测器的X轴方向平动，并处理X射线平面探测器获得的X射线图像；其中，通过旋转台的Z轴方向旋转获得被检测物体多角度的X射线成像。

2.根据权利要求1所述的旋转式X射线分层摄影检测系统，其特征在于，X射线管的最前端为所述的X射线管辐射点S。

3.根据权利要求1所述的旋转式X射线分层摄影检测系统，其特征在于，XY截面由载物台的X运动方向、Y运动方向和所设定的重建截面高度h共同确定。

4.根据权利要求1所述的旋转式X射线分层摄影检测系统，其特征在于，所述运动控制与数据计算装置叠加多角度X射线成像，在XY截面内重建被检测物体的截面。

5.采用权利要求1至4所述检测系统的旋转式分层摄影检测方法，其特征在于，包括步骤：对被检物体进行旋转扫描，获得被检测物体的多角度X射线成像；对所述的XY截面的成像进行组合叠加，以重建被检测物体的截面；通过拟合得到被检测物体XY截面的图像；根据被检测物体的检测水平截面面积，判定被检测物体所存在的缺陷；针对预定的局部区域，进行三维模型重建，所述三维模型由该局部区域多个不同高度的XY特定截面通过拟合所得。

6.根据权利要求5所述的旋转式分层摄影检测方法，其特征在于，XY截面成像进行叠加前，计算每幅X射线成像的平移系数、旋转系数，以对图像进行校正。

7.根据权利要求6所述的旋转式分层摄影检测方法，其特征在于，平移系数、旋转系数由旋转台的旋转角以及X射线平面探测器、载物台、X射线管辐射点间的几何参数确定。

8.根据权利要求5所述的旋转式分层摄影检测方法，其特征在于所述被检测物体的检测水平截面根据载物台的X运动方向、Y运动方向和所设定的重建截面高度h决定。

9.根据权利要求5所述的旋转式分层摄影检测方法，其特征在于，所述被检测物体的检测水平截面至少包括上、中、下三个检测水平面。

10.根据权利要求5所述的旋转式分层摄影检测方法，其特征在于，所述被测物体包括BGA焊点，所述缺陷包括BGA焊点的虚焊和轻微开焊。