[发明专利]元件或基板的作业装置和元件安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种元件或基板的作业装置和元件安装装置，特别是涉及具备包含摄像部的头单元的元件或基板的作业装置和元件安装装置。

背景技术

以往已知具备包含摄像部的头单元的元件安装装置等。例如日本特开2005－347555号公报公开有这样的元件安装装置。

日本特开2005－347555号公报中公开了一种元件安装装置，其具备包含两台相机（摄像部）和配置在该相机之间的元件吸嘴（作业机构部），能够移动到基板上的任意位置上的元件安装头的元件安装装置。该元件安装装置的元件安装头中，相机间的元件吸嘴配置在通过两台相机中心的直线（X轴）上，使用两台相机能够掌握基板面（X-Y平面）内元件安装头相对于X轴的旋转角度（偏转值）。这种情况下，根据从相机中心到元件吸嘴的水平距离和元件安装头的旋转角度来求得元件吸嘴从X轴偏移的偏移量（Y方向位移）。由此，即使支承元件安装头的X轴和Y轴架变形，也可将因变形产生的元件安装头的旋转角度相应的偏移量考虑在内而使元件安装头移动，所以元件吸嘴能够精度良好地移动到元件安装位置。

在日本特开2005－347555号公报记载的元件安装装置的元件安装头中，将元件吸嘴配置于通过两台相机中心的直线（X轴）上，所以根据相机-元件吸嘴中心间距离和元件安装头的旋转角度容易掌握元件吸嘴的偏移量（Y方向位移）。但是，例如元件吸嘴从通过两台相机中心的直线偏离地配置的元件安装头中，原封不动地适用上述的方式难以掌握元件吸嘴的偏移量。因此，在日本特开2005－347555号公报的结构中，存在这样的问题：在通过摄像部中心间的直线上未配置元件吸嘴（作业机构部）的元件安装头的情况下，不能精度良好地将元件吸嘴（作业机构部）移动到元件安装位置（作业位置）。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的之一在于提供一种元件或基板的作业装置和元件安装装置，即使在通过摄像部中心间的直线上未配置有作业机构部的情况下也能够使作业机构部精度良好地移动到作业位置。

为了实现上述目的，本发明第一方面的元件或基板的作业装置具备：头单元，包含第一摄像部、第二摄像部以及在俯视图中配置在通过第一摄像部和第二摄像部的各自中心的直线上以外的位置上的作业机构部；以及控制部，进行使头单元在水平面内移动的控制，其中，控制部被构成为进行以下控制：在使头单元移动时根据与第一摄像部的中心位置有关的实际位置坐标相对理论位置坐标的第一移动偏移量、与第二摄像部的中心位置有关的实际位置坐标相对理论位置坐标的第二移动偏移量、以及第一摄像部、第二摄像部和作业机构部的相互位置关系来校正作业机构部的中心位置。

本发明第一方面的元件或基板的作业装置中，如上所述，通过将控制部构成为进行以下控制：在使头单元移动时根据与第一摄像部的中心位置有关的实际位置坐标相对理论位置坐标的第一移动偏移量、与第二摄像部的中心位置有关的实际位置坐标相对理论位置坐标的第二移动偏移量、以及第一摄像部、第二摄像部和作业机构部的相互位置关系来校正作业机构部的中心位置，从而即使是在通过第一摄像部和第二摄像部各自的中心的直线上未配置作业机构部的头单元，也能够根据第一移动偏移量、第二移动偏移量、以及第一摄像部、第二摄像部以及作业机构部的相互位置关系，在移动头单元时适当校正作业机构部的中心位置。由此，能够将作业机构部精度良好地移动到与元件或基板有关的作业位置。

上述第一方面的元件或基板的作业装置中，优选地，以具有第一移动偏移量的实际位置坐标的第一摄像部的中心位置为中心、以第一摄像部的中心位置与作业机构部的中心位置之间的第一半径距离为半径的圆和以具有第二移动偏移量的实际位置坐标的第二摄像部的中心位置为中心、以第二摄像部的中心位置与作业机构部的中心位置之间的第二半径距离为半径的圆相交的交点坐标是根据相互位置关系求得的作业机构部的中心位置，控制部被构成为进行以下控制：根据交点坐标相对作业机构部的中心位置的理论位置坐标在第一方向上的差量即第一校正量和交点坐标相对作业机构部的中心位置的理论位置坐标在与第一方向正交的第二方向上的差量即第二校正量来校正作业机构部的中心位置。如此构成，则根据第一摄像部、第二摄像部和作业机构部的相互位置关系，能够容易确定（推算）产生了移动偏移的作业机构部的中心位置（交点坐标），所以能够容易求得与包含移动偏移的实际位置坐标与理论位置坐标的差量相当的第一校正量和第二校正量。由此，能够将第一校正量和第二校正量考虑在内而使作业机构部准确地移动到与元件或基板有关的作业位置。