[发明专利]元件或基板的作业装置和元件安装装置

权利要求书

1.一种元件或基板的作业装置，具备：

头单元，包含第一摄像部、第二摄像部以及作业机构部，该作业机构部在俯视图中配置于通过所述第一摄像部和所述第二摄像部的各自中心的直线上以外的位置；以及

控制部，进行使所述头单元在水平面内移动的控制，

其中，所述控制部被构成为进行以下控制：在使所述头单元移动时根据与所述第一摄像部的中心位置有关的实际位置坐标相对理论位置坐标的第一移动偏移量、与所述第二摄像部的中心位置有关的实际位置坐标相对理论位置坐标的第二移动偏移量、以及所述第一摄像部、所述第二摄像部和所述作业机构部的相互位置关系来校正所述作业机构部的中心位置。

2.如权利要求1所述的元件或基板的作业装置，其中，

以具有所述第一移动偏移量的实际位置坐标的所述第一摄像部的中心位置为中心、以所述第一摄像部的中心位置与所述作业机构部的中心位置之间的第一半径距离为半径的圆和以具有所述第二移动偏移量的实际位置坐标的所述第二摄像部的中心位置为中心、以所述第二摄像部的中心位置与所述作业机构部的中心位置之间的第二半径距离为半径的圆相交的交点坐标是根据所述相互位置关系求得的所述作业机构部的中心位置，

所述控制部被构成为进行以下控制：根据所述交点坐标相对所述作业机构部的中心位置的理论位置坐标在第一方向上的差量即第一校正量和所述交点坐标相对所述作业机构部的中心位置的理论位置坐标在与所述第一方向正交的第二方向上的差量即第二校正量来校正所述作业机构部的中心位置。

3.如权利要求2所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述控制部被构成为进行以下控制：在使所述头单元移动时将所述作业机构部的中心位置移动到从所述作业机构部的中心位置的理论位置坐标分别减去所述第一方向上的所述第一校正量和所述第二方向上的所述第二校正量所得的位置坐标。

4.如权利要求2所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述第一移动偏移量包含所述第一摄像部的中心位置从理论位置坐标在所述第一方向上偏移的第一偏移量和在所述第二方向上偏移的第二偏移量，

所述第二移动偏移量包含所述第二摄像部的中心位置从理论位置坐标在所述第一方向上偏移的第三偏移量和在所述第二方向上偏移的第四偏移量，

根据所述交点坐标、所述第一摄像部的理论位置坐标、所述第一偏移量、所述第二偏移量和所述第一半径距离之间成立的第一关系式、以及所述交点坐标、所述第二摄像部的理论位置坐标、所述第三偏移量、所述第四偏移量和所述第二半径距离之间成立的第二关系式来算出作为所述作业机构部的中心位置的所述交点坐标。

5.如权利要求4所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述第一关系式是使用基于所述交点坐标的所述第一方向的坐标位置、所述第一摄像部的第一方向的理论位置坐标和所述第一偏移量所算出的第一水平距离、基于所述交点坐标的所述第二方向的坐标位置、所述第一摄像部的第二方向的理论位置坐标和所述第二偏移量所算出的第一垂直距离、和所述第一半径距离来规定的圆的方程式，

所述第二关系式是使用基于所述交点坐标的所述第一方向的坐标位置、所述第二摄像部的第一方向的理论位置坐标和所述第三偏移量所算出的第二水平距离、基于所述交点坐标的所述第二方向的坐标位置、所述第二摄像部的第二方向的理论位置坐标和所述第四偏移量所算出的第二垂直距离、和所述第二半径距离来规定的圆的方程式。

6.如权利要求5所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述交点坐标通过联立所述第一关系式和所述第二关系式并求解来算出，

在联立所述第一关系式和所述第二关系式并求解所得到的一对所述交点坐标中根据所述第一摄像部、所述第二摄像部以及所述作业机构部的相互位置关系选择对校正所述作业机构部的中心位置的控制处理有效的所述交点坐标。

7.如权利要求1所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述控制部被构成为进行以下控制：在使用所述头单元进行与元件或基板有关的作业时根据所述第一移动偏移量、所述第二移动偏移量、以及所述第一摄像部、所述第二摄像部和所述作业机构部的所述相互位置关系来校正所述作业机构部的中心位置并使所述头单元移动。