[发明专利]一种薄膜切割光路系统

权利要求书

1.一种薄膜切割光路系统，其特征在于：包括用于发射激光的激光器、与该激光器配合的第一反射镜组件、与该第一反射镜组件配合的第二反射镜组件、与该第二反射镜组件配合的第三反射镜组件、X轴导轨组件和Y轴导轨组件；X轴导轨组件设有沿着X轴方向的X轴导轨，Y轴导轨组件设有沿着Y轴方向的Y轴导轨；X轴导轨组件和Y轴导轨组件活动连接，且X轴导轨组件沿着Y轴导轨位移；第二反射镜组件和第三反射镜组件设于X轴导轨组件上，且第三反射镜组件和X轴导轨活动连接，第三反射镜组件沿着X轴导轨位移。

2.根据权利要求1所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：Y轴导轨组件还包括Y轴驱动装置，Y轴驱动装置连接X轴导轨组件，且Y轴驱动装置驱动X轴导轨组件沿着Y轴导轨位移。

3.根据权利要求2所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：Y轴导轨由第一Y轴滑轨和第二Y轴滑轨构成，第一Y轴滑轨和第二Y轴滑轨分别设于X轴导轨组件底部的两端，第一反射镜组件位于第一Y轴滑轨的端部。

4.根据权利要求1所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：X轴导轨组件还包括X轴驱动装置，X驱动装置连接第三反射镜组件，且X轴驱动装置驱动第三反射镜组件沿着X轴导轨位移。

5.根据权利要求1至4任意一项所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第一反射镜组件包括第一万向调整座结构，还包括设于该第一万向调整座结构上的第一反射镜本体；第二反射镜组件包括第二万向调整座结构，还包括设于该第二万向调整座结构上的第二反射镜本体；第三反射镜组件包括第三万向调整座结构，还包括设于该第三万向调整座结构上的第三反射镜本体。

6.根据权利要求5所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第一万向调整座结构包括第一Y轴微调结构、第一反射镜架座板、第一镜片支撑座和至少一个第一调节轮；第一Y轴微调结构固定在激光器座板上；第一反射镜架座板安装在第一Y轴微调结构上，第一镜片支撑座通过第一调节轮连接第一反射镜架座板，第一反射镜本体设于第一镜片支撑座上；第一Y轴微调结构驱动第一反射镜架座板沿着Y轴方向位移，第一调节轮调节第一反射镜架座板的位置，从而调整第一反射镜本体的位置，使第一反射镜本体和激光器配合。

7.根据权利要求5所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第二万向调整座结构包括与Y轴导轨组件连接的L形固定板、设于L形固定板上的第二反射镜架座板、设于第二反射镜架座板上的第一调节板、设于第一调节板上的第二调节板、设于第二调节板上的第二镜片固定块、设于第二调节板上的第二反射镜座板和至少一个第二调节轮；第二反射镜本体设于第二反射镜座板；第二反射镜架座板、第一调节板和第二调节板之间活动连接，从而调节第二镜片固定块和第二反射镜座板在Y轴方向上位置；第二镜片固定块通过第二调节轮和第二反射镜座板活动连接，第二调节轮调节第二反射镜座板的位置；从而使第二反射镜本体和第一反射镜本体配合。

8.根据权利要求5所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：第三万向调整座包括与X轴导轨组件连接的Z轴转接板、设于Z轴转接板的Z轴底板、与Z轴底板活动连接的第三反射镜座座板和设于第三反射镜座座板上的第三反射镜座；第三反射镜本体通过反射镜固定环和反射镜调节环连接第三反射镜座；反射镜固定环和反射镜调节环调节对第三反射镜本体位置的微调功能，使第三反射镜本体和第二反射镜本体配合。

9.根据权利要求1所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：还包括聚焦镜组件，聚焦镜组件由聚焦镜固定套和聚焦镜本体构成，聚焦镜固定套设于第三反射镜组件下方，聚焦镜本体套设在聚焦镜固定套内。

10.根据权利要求1或9所述一种薄膜切割光路系统，其特征在于：还包括扩束镜本体，该扩束镜本体设于激光器与第一反射镜组件之间、第一反射镜组件与第二反射镜组件之间和/或第二反射镜组件与第三反射镜组件之间。