[发明专利]一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置，具体是涉及一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置。

背景技术

在激光传输光学组件的内部安装有许多具有不同功能的各种大口径的光学元件，在激光通过大口径光学元件的过程中，在这些光学元件的表面上的微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输都会产生巨大的影响。通过对光学组件内腔进行冲扫可以有效提高洁净度，但是由于激光通过光学元件时会产生气溶胶，污染光学元件表面，因此光学元件表面需要进一步的清理。目前还没有合适的装置来实现保持激光传输光学元件的洁净度。综上所述，亟需研制一种新型装置来及时清理大口径光学元件表面，使光学元件的洁净度得到进一步提高。

发明内容

本发明的目的是为了解决激光通过光学元件时会产生气溶胶，污染光学元件表面，光学元件表面需要进一步的清理，目前还没有合适的装置来实现保持激光传输光学元件的洁净度问题，进而提供一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置。

本发明的技术方案是：一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管、不锈钢气刀、出气端组件；不锈钢气刀和出气端组件相对应安装在光学组件壳体上，不锈钢气刀和出气端组件的安装位置与光学组件壳体内的大口径光学组件相对应，进气端气体输送导管连接在不锈钢气刀的进气口处。

本发明与现有技术相比具有以下效果：高压气泵输出的压缩空气由进气端气体输送导管进入不锈钢气刀进气口，然后气体进入不锈钢气刀的高压腔，沿喷嘴喷出，由于科恩达效应，高速气流在气刀转角处随外形表面偏转90°，并且带动周围空气移动，实现对大口径光学元件的局部高速冲扫，使其表面污染及时得到清理，同时高速气流使光学元件附近区域形成局部高洁净度气流环境，隔离外部污染。本发明的冲扫装置能够达到保持大口径光学元件高洁净度的效果，另外其结构简单，使用灵活方便。

附图说明

图1是本发明的用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置的总体结构图；

图2是进气端气体输送导管、不锈钢气刀、出气端组件和大口径光学组件的位置关系图；

图3是不锈钢气刀的截面图（箭头表示气流方向）。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式的一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管1、不锈钢气刀2、出气端组件3；不锈钢气刀2和出气端组件3相对应安装在光学组件壳体4上，不锈钢气刀2和出气端组件3的安装位置与光学组件壳体4内的大口径光学组件5相对应，进气端气体输送导管1连接在不锈钢气刀2的进气口2-1处。

高压气泵输出的压缩空气由进气端气体输送导管1进入不锈钢气刀进气口2-1，然后气体进入不锈钢气刀2的高压腔2-2，沿喷嘴2-3喷出，由于科恩达效应，高速气流在气刀转角2-4处随外形表面偏转90°，并且带动周围空气移动，实现对大口径光学元件的局部高速冲扫。冲扫装置进气洁净度为百级，大口径光学元件表面洁净度可达到百级。