[发明专利]一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置有效
| 申请号： | 201310155856.1 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103230900A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 梁迎春;曹永智;卢礼华;于福利;张庆春 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 保持 口径 光学 元件 表面 洁净 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置，其特征在于：用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管（1）、不锈钢气刀（2）、出气端组件（3）；不锈钢气刀（2）和出气端组件（3）相对应安装在光学组件壳体（4）上，不锈钢气刀（2）和出气端组件（3）的安装位置与光学组件壳体（4）内的大口径光学组件（5）相对应，进气端气体输送导管（1）连接在不锈钢气刀（2）的进气口（2-1）处。
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