[发明专利]柔性显示装置的制造方法有效
申请号: | 201310143226.2 | 申请日: | 2013-04-23 |
公开(公告)号: | CN103715136B | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 崔廷豪;吴相宪;康东旭 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56;B32B38/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星;金光军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示装置 制造 方法 | ||
1.一种柔性显示装置的制造方法,包括如下步骤:
准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体;
将准备的多个所述基板组装体分为多层装载至加热炉内;
对于在所述加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体,沿水平方向喷吹热风而进行热处理;
在经热处理的所述基板组装体的所述柔性基板上形成显示单元;
分离所述柔性基板和所述载体基板,
在进行所述热处理的步骤中,分阶段地提高所述热风的温度,且所述热风沿着层叠于各层的所述基板组装体的柔性基板的板面形成层流而经过,
还包括在分离柔性基板和载体基板之后,对所述柔性基板进行再加热的后处理步骤。
2.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法,其中,所述热风的温度按照小于150℃的第一阶段和150℃以上且小于300℃的第二阶段以及300℃以上的第三阶段来分阶段地上升。
3.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法,其中,所述柔性基板包括聚酰亚胺材料,所述载体基板包括玻璃材料。
4.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法,其中,所述后处理步骤包括将热源直接接触到所述柔性基板的直接加热步骤和将所述柔性基板在50~150℃温度氛围下放置预定时间的间接加热步骤中的任意一个。
5.如权利要求4所述的柔性显示装置的制造方法,其中,在所述直接加热步骤中,将柔性基板放置到被加热至50~150℃的热板上且放置1~10分钟。
6.如权利要求4所述的柔性显示装置的制造方法,其中,在所述间接加热步骤中,将所述柔性基板放置于温度维持在50~150℃的烤箱内且放置1~5分钟。
7.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法,其中,在分离出所述载体基板和所述柔性基板之后确认到所述柔性基板的弯曲时,选择进行所述后处理步骤。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择