[发明专利]选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法

权利要求书

1.选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于，在电池片受光面上生成一标记图形，在金属栅线印刷后，测量金属栅线与标记图形之间的距离，结合标记图形与选择性重扩散区的距离，判定栅线印刷位置与选择性重扩散区的重合精度。

2.根据权利要求1所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：所述标记图形位于金属栅线之间，并采用与选择性重扩散区的生成工艺相同的工艺，在生成选择性重扩散区的同时在电池片受光面上生成标记图形。

3.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：标记图形由多个单一标记图形组成的标记图形组，测试过程中首先选择最清晰可靠的单一图形作为基准位置参照点，并通过测量该单一标记图形与其他单一标记图形的距离判断该标记图形作为基准位置参照点的位置可靠性。

4.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：在电池片受光面上沿电池片表面栅线方向生成两组所述标记图形，通过分别测量电池片上下不同区域金属栅线与所述标记图形之间距离的方法，判定电池片上下不同区域的金属栅线印刷位置与选择性重扩散区的重合精度，并进一步判断金属栅线印刷图形与重扩区图形在平面旋转方向上的重合精度。

5.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：在电池片受光面上沿电池片主栅线方向生成两组所述标记图形，通过分别测量电池片左右不同区域金属栅线与所述标记图形之间距离的方法，判定电池片左右不同区域的金属栅线印刷位置与选择性重扩散区的重合精度，并进一步判断网板张力变化情况，达到网板寿命监控的工艺目的。

6.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：在金属栅线印刷后，测量金属栅线与标记图形之间的距离，结合标记图形与选择性重扩散栅线印刷区中心线的相对距离，计算栅线印刷位置与选择性重扩散区的重合精度，以回避常规光学检测方法中金属栅线反射光对栅线周边的光污染问题。

7.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：所述标记图形为二维图形，通过分别测量所述二维图形与电池片栅线和电池片主栅线的距离，结合所述标记图形与重扩散栅线印刷区中心线和重扩散主栅线印刷区中心线的距离，在电池片左右和上下两个方向上判断金属栅线的印刷位置精度。

8.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：该检测方法应用于生产线上的高速在线位置检测，通过实时测量的位置检测信息，校正图形定位运动控制偏移量，实现丝网印刷设备图形定位的高精度高速闭环控制。

9.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：该检测方法适用于丝网印刷设备的高速在线位置检测。

10.根据权利要求1或2所述的选择性电极型太阳能电池栅线印刷位置精度的检测方法，其特征在于：该检测方法适用于离线丝网印刷设备。