[发明专利]一种制备铝、钴共掺氧化锌薄膜的方法无效
| 申请号： | 201310092130.8 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103147073A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 曹萍 | 申请（专利权）人： | 长春工程学院 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 钴共掺 氧化锌 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1. 一种制备铝、钴共掺氧化锌薄膜的方法，其特征在于由以下工艺步骤实现：
(a) 以Zn(NO3)2·6H2O, Al(NO3)3·9H2O, Co(NO3)2·6H2O 和聚乙烯吡咯烷酮为原料，以无水乙醇为溶剂，按一定比例配置成溶胶，使得Co2＋浓度保持在0.001～0.002 mol/l，调节Cu2+离子的浓度为0.001 ～0.003mol/l；
(b) 经步骤（a）所配成的溶胶在2000转/分钟的转速下在清洗过的衬底上旋涂成膜，把所得薄膜放入100℃的烘箱中10min，以除去有机溶剂；
(c) 然后把经步骤（b）的薄膜在300℃～400℃下氧气气氛中热处理20min，除去薄膜中的有机成分，重复3～12次，以得到需要的厚度；
(d)最后经过步骤（c）的薄膜在700℃～900℃的高温晶化1h，得到所需样品。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
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