[发明专利]一种产生多极场的可调式射频电源有效
| 申请号： | 201310070998.8 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN103166330A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李晓旭 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H02J17/00 | 分类号： | H02J17/00;H01J49/02;H01F29/12;H01F27/28;H01F27/30 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 产生 多极 调式 射频 电源 | ||
1.一种产生多极场的可调式射频电源，所述射频电源包括一个初级线圈和至少两对与初级线圈相耦合的次级线圈，其特征在于：
每对次级线圈包括分列于初级线圈两侧的两个独立的线圈绕组，每对次级线圈有两个高压输出端和两个低压输出端；
至少一对次级线圈的输出信号电压幅度与其他次级线圈的输出信号电压幅度不相同；
次级线圈之间相互独立，至少一对次级线圈与初级线圈之间的相对位置可调节。
2.根据权利要求1所述产生多极场的可调式射频电源，其特征在于：所述次级线圈的每个线圈绕组的高压端至少与一个电极连接。
3.根据权利要求1所述产生多极场的可调式射频电源，其特征在于：设有两对所述次级线圈，分别为第一次级线圈对和第二次级线圈对。
4.根据权利要求3所述产生多极场的可调式射频电源，其特征在于：所述第一次级线圈对与所述初级线圈的相对位置固定，所述第二次级线圈对上安装有位置调节装置，用于调节第二次级线圈与初级线圈之间的相对距离。
5.根据权利要求1所述产生多极场的可调式射频电源，其特征在于：所述次级线圈的每个线圈绕组的高压端至少与一个可调电容器连接。
6.根据权利要求1所述产生多极场的可调式射频电源，其特征在于：所述次级线圈的每个线圈绕组的高压端至少与一个射频信号幅度检测电路连接。
7.根据权利要求1所述产生多极场的可调式射频电源，其特征在于：设有三对或三对以上次级线圈。
8.根据权利要求7所述产生多极场的可调式射频电源，其特征在于：所述次级线圈中的至少一对次级线圈上安装有位置调节装置，用于调节该次级线圈与初级线圈之间的相对距离。
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