[发明专利]用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置

权利要求书

1.一种用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置，在浸没式光刻机中的投影物镜组（1）和硅片（3）之间装有的气密封和气液减振回收装置；其特征在于：所述气密封和气液减振回收装置包括密封和注液回收装置（2）、多孔介质（4）；密封和注液回收装置（2）由浸没单元上端盖（2A）、浸没单元中间体（2B）、浸没单元下端盖（2C）和浸没单元下端盖配件（2D）组成；其中：

1）浸没单元上端盖（2A）：

在浸没单元上端盖（2A）开有中心通孔，在浸没单元上端盖（2A）的中心通孔向外的六个同心圆上分别依次开有两个对称的注液槽（5A），两个对称的缓冲槽（6A）、两个液体回收槽（7A）、两个内密封注气槽（8A）、两个中密封注气槽（9A）、两个外密封注气槽（10A）；

两个注液槽（5A）、两个液体回收槽（7A）、两个内密封注气槽（8A）、两个中密封注气槽（9A）、两个外密封注气槽（10A）均分别与各自的孔道连接，各孔道又通过螺纹连接的方式与外部管路相连接，外部管路包括液体注入管路、液体回收管路、气体注入管路，分别完成浸没单元的液体注入与回收、气体注入功能；

2）浸没单元中间体（2B）：

在浸没单元中间体（2B）开有中心通孔，在浸没单元中间体（2B）的中心通孔向外依次有两个对称的浸没单元中间体注液腔（5B）、第一O型圈用沟槽（11B）、六个对称分布的浸没单元中间体缓冲腔（6B）、两个对称的浸没单元中间体液体回收腔（7B）、第二O型圈用沟槽（12B）、六个对称的浸没单元中间体内密封注气腔（8B）、第三O型圈用沟槽（13B）、六个对称的浸没单元中间体中密封注气腔（9B）、第四O型圈用沟槽（14B）、六个对称的浸没单元中间体外密封注气腔（10B）和第五O型圈用沟槽（15B）；中心通孔与两个对称的浸没单元中间体注液腔（5B）之间有凸起台阶（16B）；浸没单元中间体缓冲腔（6B）与浸没单元中间体液体回收腔（7B）之间有个凸起的斜面台阶（17B）；

3）浸没单元下端盖（2C）：

在浸没单元前端盖（2C）开有中心通孔，浸没单元前端盖（2C）的中心通孔向外依次有注液用台阶（18C）、第六O型圈用沟槽（11C）、浸没单元下端盖缓冲腔（6C）、回收用斜面（19C）、第七O型圈用沟槽（12C）、浸没单元下端盖内密封注气腔（8C）、第八O型圈用沟槽（13C）、浸没单元下端盖中密封注气腔（9C）、第九O型圈用沟槽（14C）、浸没单元下端盖外密封注气腔（10C）和第十O型圈用沟槽（15C）；注液用台阶（18C）与凸起台阶（16B）配合形成浸没单元下端盖注液腔；浸没单元下端盖缓冲腔（6C）内开有二十五个均匀分布的腰子槽；回收用斜面（19C）与凸起的斜面台阶（17B）配合形成浸没单元下端盖液体回收腔（7C）；第七O型圈用沟槽（12C）与浸没单元下端盖内密封注气腔（8C）联通，形成一个气体压力缓冲腔，缓冲腔内开有内注气孔阵列（20C）；第八O型圈用沟槽（13C）与浸没单元下端盖中密封注气腔（9C）联通，形成一个气体压力缓冲腔，缓冲腔内开有中注气孔阵列（21C）；第九O型圈用沟槽（14C）与浸没单元下端盖外密封注气腔（10C）联通，形成一个气体压力缓冲腔，缓冲腔内开有外注气孔阵列（22C）；

4）浸没单元下端盖配件（2D）：

在浸没单元下端盖配件（2D）开有中心通孔，浸没单元下端盖配件（2D）的中心通孔向外有一气密封用斜面（23 D）；

所述的浸没单元下端盖配件（2D）上端面与浸没单元下端盖（2C）下端面，浸没单元下端盖（2C）上端面与浸没单元中间体（2B）下端面，浸没单元中间体（2B）上端面与浸没单元上端盖（2A）下端面相配合，并通过螺钉紧固连接；

3）多孔介质（4）：

有多孔介质（4）填充在浸没单元下端盖缓冲腔（6C）内。

2.根据权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置，其特征在于：所述的两个注液槽（5A）分别与各自的浸没单元中间体注液腔（5B）和浸没单元下端盖注液腔相通；两个液体回收槽（7A）分别与各自的浸没单元中间体液体回收腔（7B）、浸没单元下端盖液体回收腔（7C）相连，并最终与浸没单元下端盖缓冲腔（6C）相连；两个内密封注气槽（8A）均与浸没单元中间体内密封注气腔（8B）、浸没单元下端盖内密封注气腔（8C）和内注气孔阵列（20C）相通；两个中密封注气槽（9A）均与浸没单元中间体中密封注气腔（9B）、浸没单元下端盖中密封注气腔（9C）和中注气孔阵列（21C）相通；两个外密封注气槽（10A）均与浸没单元中间体外密封注气腔（10B）、浸没单元下端盖外密封注气腔（10C）和外注气孔阵列（22C）相通。