[发明专利]一种具有涂层的钛合金紧固件及其制造方法和装置

权利要求书

1.一种具有涂层的钛合金紧固件，包括紧固件本体，其特征在于：所述涂层是复合铝涂层。

2.如权利要求1所述的紧固件，其特征在于：所述复合铝涂层是梯度成分渐变结构。

3.如权利要求1或2所述的紧固件，其特征在于：所述复合铝涂层由内向外依次为结合层、共混层和功能层。

4.如权利要求3所述的紧固件，其特征在于：所述结合层为溅射镀铝层。

5.如权利要求3所述的紧固件，其特征在于：所述共混层为纳米晶铝和微米晶铝混合层。

6.如权利要求3所述的紧固件，其特征在于：所述功能层为多层铝涂层。

7.一种制造具有复合铝涂层的钛合金紧固件的方法，其特征在于，依照如下步骤进行：预先对紧固件本体进行辉光清洗，

1)然后用中频溅射靶在所述紧固件本体上溅射沉积过渡金属铝，形成结合层；

2)用直流溅射靶和所述中频溅射靶在所述结合层上溅射沉积共混铝复合层，形成共混层；

3)继续用所述中频溅射靶和所述直流溅射靶在所述共混层上溅射沉积多层纳米铝涂层，形成功能层；

上述结合层、共混层、功能层形成所述复合铝涂层。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于：所述步骤1）是在100-450℃，0.1-0.5Pa，-800V到-1000V的条件下进行；所述步骤2）是在100-450℃，0.3-0.8Pa，-100V到-250V的条件下进行；所述步骤3）是在100-350℃，0.2-0.8Pa，-50V到-150V的条件下进行。

9.如权利要求7或者8所述的方法，其特征在于：所述步骤1）到3）步骤是在氩气环境下进行，所述结合层、共混层、功能层的厚度分别为30-50nm、0.5-5um、5-30um。

10.一种制造具有复合铝涂层的钛合金紧固件的装置，其特征在于：包括真空室，位于真空室中心部位的加热器，位于真空室一侧内壁附近的第一中频溅射靶以及位于中心部位的与所述第一中频溅射靶构成对靶的第二中频溅射靶，位于真空室另一侧内壁附近的若干直流溅射靶。