[发明专利]复投装置及利用具备该装置的设备生产直拉单晶的方法无效
申请号: | 201310058262.9 | 申请日: | 2013-02-25 |
公开(公告)号: | CN103132137A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 宋都明;王林;陈澄;王寅生;张颂越;田志民;王清泉;李海彬 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 李莉华 |
地址: | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 利用 具备 设备 生产 直拉单晶 方法 | ||
1.一种复投装置,包括筒体、设置在所述筒体内的导轨以及活动插设在所述导轨内的内杆,所述筒体上端设有入料口,所述筒体下端设有放料口,所述筒体外壁上设有外凸的平台,所述内杆的上端设有缆绳连接部,所述内杆的下端设有与所述放料口相配合的放料阀门。
2.根据权利要求1所述的复投装置,其特征在于:所述入料口为漏斗状,所述入料口的上端口直径大于所述入料口的下端口直径。
3.根据权利要求1所述的复投装置,其特征在于:所述导轨通过连接杆固定在所述筒体内。
4.根据权利要求1或3所述的复投装置,其特征在于:所述导轨与所述筒体同轴。
5.根据权利要求1所述的复投装置,其特征在于:所述缆绳连接部设有用于固定缆绳的销子。
6.根据权利要求1所述的复投装置,其特征在于:所述平台为套设且固定在所述筒体外壁上的圆环。
7.一种利用具备权利要求1所述的复投装置的设备生产直拉单晶的方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)将原料投至炉体主室的坩埚内;
(2)步骤(1)中投至所述坩埚内的所述原料熔化后,拉制一段单晶,并收尾取出;
(3)将缆绳固定在所述缆绳连接部,并通过所述入料口向所述复投装置内装入块状原料;
(4)通过所述缆绳使所述复投装置升至所述炉体的副室内;
(5)打开位于所述主室和所述副室之间的隔离阀,将所述缆绳降下,使所述复投装置下降,当所述复投装置停止下降时,停止降下所述缆绳,所述平台固定在所述隔离阀上;
(6)通过点降所述缆绳的方式控制所述放料阀门,向所述坩埚内投放所述块状原料;
(7)步骤(6)中投放至所述坩埚内的所述块状原料熔化后,拉制单晶并收尾取出;
(8)根据生产需求依次重复步骤(3)、步骤(4)、步骤(5)、步骤(6)和步骤(7)。
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