[发明专利]加速度开关和电子器件

说明书

技术领域

本发明涉及加速度开关和电子器件。

背景技术

作为一直以来的加速度开关，使用如专利文献1所示的在质量体内部拥有对置电极（中心体）并利用梁来支撑质量体的无指向性的加速度开关。基于图1，对这样的加速度开关进行说明。

图1是现有的加速度开关的剖面图，该加速度开关001由周边部（框架）101、梁102、质量体（重锤）103以及对置电极104构成，构成为：将该梁102的一端固定于质量体103，将梁102的另一端固定于周边部101，周边部101利用梁102来支承质量体103。

另外，响应施加至加速度开关001的加速度，质量体103和配置于该质量体103的内部的对置电极104接触，由此，与该加速度开关001连接的外部装置检测出振动。即，如果将加速度施加至该加速度开关001，则质量体103移动而与对置电极104接触，加速度开关成为ON（导通）。此外，由于该加速度开关能够作为常关（normally off）且无指向性的开关而使用，另外，通过使用半导体制造技术，从而能够以硅单晶为基础而制作，因而存在比较小型且能够大量生产等各种优点。

由于搭载于电子器件的加速度开关对小型化的要求高，因而加速度开关的外形尺寸更小则变得有利。另外，对成本降低的要求也高，使用半导体制造技术，进一步减小加速度开关的外形尺寸，在一块晶圆制作许多加速度开关，会更有利。

专利文献1：日本特开平9－145740号公报。

然而，这在将加速度开关水平地设置的情况下有效，但取决于加速度开关的使用方法，有时候无指向性的灵敏度也并非有效，不能得到既定的灵敏度。

例如，考虑将加速度开关相对于水平面（包括与铅垂方向成直角的平面、大致水平面或以水平面为基准的平面）而垂直地（沿铅垂方向）保持的情况，如果例如以1G以下来制作灵敏度，则1G的重力导致开关成为ON状态。在图2（a）中示出将加速度开关相对于水平面而平行地保持的情况，在图2（b）中示出将加速度开关相对于水平面而垂直地保持的情况。在图2（a）中，水平面是XY平面，重力方向是Z方向，在图2（b）中，水平面是XZ平面，重力方向是Y方向（准确地说，-Y方向）。另外，如果以1G以下例如1G来制作灵敏度，则在使开关垂直的情况下，由于已经施加重力加速度1G，因而开关成为ON状态。

具体而言，此后为了简便，仅表示与质量体103和对置电极104相对应的质量体和对置电极。图2的AA’线表示X方向（第二方向）上的对置电极202的中心线，BB’线表示X方向上的质量体201的中心线，CC’线表示与后述的第一基板的厚度方向正交的Y方向（第一方向）上的对置电极202和质量体201的中心线。图2（a）中的重力方向（铅垂方向）是Z方向，图2（b）中的重力方向是Y方向。此外，在图2（a）中，AA’线和BB’线一致。

图2是拥有例如1G的灵敏度的加速度开关002的情况。图2（a）是将加速度开关002水平地载置时的图，对置电极202和质量体201的电极的距离a与在加速度开关002得到1G的加速度的情况下质量体103位移的距离相等。此外，对置电极202和质量体201的间隙没有偏颇地遍及整周以距离a统一。在此，如果将加速度开关002相对于水平面而垂直地竖立，则重力1G导致质量体201沿重力方向（铅垂方向）位移。

如图2（b）所示，Y方向作为重力方向（铅垂方向），对置电极202和贯通孔（孔部）205的C侧的壁面接触。由于该1G导致位移的量与质量体201的电极和对置电极202的距离a相等，因而质量体201与对置电极202接触。即，在现有技术中，存在在施加重力加速度等想要感知的加速度以外的加速度的情况下不能够感知既定的加速度的问题。此外，通过该接触而电导通的电极形成于质量体201和对置电极202的对置的侧壁。

发明内容

于是，本发明的目的在于，在上述加速度开关中，即使在施加除了重力加速度等想要感知的加速度以外的加速度的情况下，也能够感知既定的加速度。

本发明为了解决这样的课题，具备以下的构成。

本发明的加速度开关，是具有由绝缘性材料构成的第一基板、固定于所述第一基板的框架、位于所述框架的内部并由所述框架支撑的梁、由所述梁支撑并在大致中心具有孔部的质量体以及位于所述孔部的内部并固定于所述第一基板的中心体的加速度开关，其特征在于，在所述第一基板大致水平地配置的状态下，在第一方向上，所述质量体和所述孔部、所述质量体和所述中心体或者所述孔部和所述中心体的组合中的至少一组的中心位置不一致。