[发明专利]静态电荷源及其校准方法

权利要求书

1.静态电荷源，包括直流电压源，所述直流电压源的高端通过内部参考电容连接电荷输出高端，其特征在于，所述内部参考电容与所述电荷输出高端之间的电荷输出节点连接放大电路的同相端，所述直流电压源的低端、所述放大电路的反向端和跟随电压输出端分别连接在直流电压源低端节点，相对于所述电荷输出高端的电荷输出低端接地。

2.根据权利要求1所述的静态电荷源，其特征在于，所述直流电压源包括数模转换器，所述数模转换器连接直流电源模块，并通过光电隔离模块连接CPU。

3.根据权利要求1所述的静态电荷源，其特征在于，所述放大电路通过隔离电源模块连接直流电源模块。

4.根据权利要求1所述的静态电荷源，其特征在于，所述内部参考电容与程控开关并联。

5.一种校准上述静态电荷源的方法，其特征在于，包括以下步骤：A、在所述静态电荷源的电荷输出高端与电荷输出低端之间连接一个标准电容，其电容值为C_n；B、将所述静态电荷源的输出的静态电荷量设置为0，然后用直流数字电压表测量跟随电压输出端的第1个直流电压值Vc1；C、将所述静态电荷源的输出的静态电荷量设置为Q_s，然后用直流数字电压表测量跟随电压输出端的第2个直流电压值Vc2，通过Vc2减去Vc1得到Vc，通过Vc与C_n的乘积得到输出的静态电荷量标准值Q_n，比较设置值Q_s与标准值Q_n完成校准。