[发明专利]金属镀层的测量方法有效
申请号: | 201310048309.3 | 申请日: | 2013-02-06 |
公开(公告)号: | CN103175494A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 梁朝辉 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所 |
主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 万志香;曾旻辉 |
地址: | 510610 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 镀层 测量方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种金属镀层的测量方法。
背景技术
众所周知,镀层的厚度是衡量镀层质量的重要指标之一。目前行业内对镀层金属厚度测量的方式主要分为两种,一种是通过测厚仪器测量,例如X射线荧光光谱分析(XRF)、聚焦离子束(FIB)系统等;另一种是对被测表面进行切片制作后、利用测量工具进行测量。
现有技术中,利用仪器的测量方法,XRF缺点在于:仪器对于轻元素的灵敏度相对较低,容易受相互元素干扰和叠加峰的影响;测量结果准确性与采用标样直接相关,因此同一样品采用不同厂家的仪器测量结果也会有偏差,在被测镀层越薄时偏差越大;FIB缺点在于操作复杂、对制样要求较高,设备维护成本和测试成本高。
通过制作切片进行镀层厚度的测量方法,其缺点在于:由于金、银、锡等金属本身的延展性,在切片制作过程中金属镀层发生延展而造成假象,直接造成测量结果偏大;现有技术是在待测金属镀层上再返镀一层的金属作保护包覆层,随后再制作成切片对待测镀层进行测厚。但这种方式的缺点在于增加工艺工序,不但增加了成本,而且产品在使用方检验时难以实现。
发明内容
基于此,针对上述测量方法中操作复杂、成本高、结果重现性低的问题,提供一种金属镀层的测量方法。
为解决上述技术问题,本发明具体的技术方案如下:
一种金属镀层的测量方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)取样;
(2)烘烤;
(3)调胶;
(4)固化;
(5)粗磨和细磨;
(6)抛光和蚀刻;
(7)测量;
所述步骤(1)为:切割样品,并在样品的金属镀层表面涂覆环氧胶,所述环氧胶为用于COB包封的单组份环氧树脂胶;
所述步骤(2)的烘烤温度为80-200℃,时间为1h-4h。
在其中一些实施例中,步骤(1)所述的环氧胶的涂覆量为0.01g-10g/cm2。
其中一些实施例中,步骤(1)所述的环氧胶的涂覆量为1.0g-2.0g/cm2。
在其中一些实施例中,步骤(2)所述的烘烤温度为100-120℃,时间为1h-2h。
在其中一些实施例中,步骤(3)所述的调胶为将环氧树脂和环氧树脂固化剂混合。
在其中一些实施例中,所述环氧树脂和环氧树脂固化剂的体积比为1-10:1。在其中一些实施例中,所述环氧树脂和环氧树脂固化剂的体积比为3-5:1。
本发明一种金属镀层的测量方法的优点和有益效果如下:
1、本发明可于常温常压下进行,可操作性强且成本较低;
2、本发明测试结果重现性高,所得数据便于工程参考和对比。
具体实施方式
结合以下实施例对本发明的技术方案进行阐述。
实施例1
本实施例为一种金镀层的测量方法,具体步骤如下:
(1)取样:从电路板上切下需测量的金镀层作为样品,并在样品的金镀层表面涂覆2.0g/cm2的用于COD包封的单组份环氧树脂胶(产自上海云邦化工科技有限公司);
(2)烘烤:将涂覆环氧胶的样品放入烘箱,设置烘烤温度为100℃,烘烤时间为2h,待烘烤结束后,自然冷却至室温;
(3)调胶:将体积比为3:1的环氧树脂和环氧树脂固化剂(产自天津宁平化学制品有限公司)混合均匀,得混合物;
(4)固化:用步骤(3)所制的混合物将样品固封于模具中,放置1d,至固化完全;
(5)粗磨:使用金相研磨机,在150目的圆盘砂纸上粗磨样品;
(6)细磨:将经粗磨的样品,依次用400目、1200目、2000目的圆盘砂纸细磨样品至需要测量的金镀层处,直至磨去毛刺及划痕;
(7)抛光:经细磨后,用金刚石抛光液抛光样品;
(8)蚀刻:将抛光后的样品用王水蚀刻;
(9)测量:蚀刻后,将样品擦拭干净,用扫描电子显微镜进行测量;以此方法对3个样品进行测试,测得的金镀层厚度分别为27.72nm、27.73nm、27.49nm。
对比实验1:
本对比实验为一种金镀层的测量方法,具体步骤如下:
(1)取样:从电路板上切下需测量的金镀层作为样品,并在样品的金镀层表面再返镀一层Ni;
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