[发明专利]真空环境下温度比对试验系统

说明书

技术领域

本发明涉及温度传感器计量技术，特别是一种真空环境下温度比对试验系统。

背景技术

由于采用常压下计量的温度传感器测量真空环境下气体温度存在诸多不确定性因素，所以本发明人认为，很有必要建立真空环境下温度比对试验系统。

发明内容

本发明针对目前真空环境下温度传感器温度测量的溯源性问题，提供一种真空环境下温度比对试验系统，有效的解决了真空环境下温度传感器的溯源问题。所述计量系统有利于通过真空环境下的标准温度传感器对被检的真空环境下温度传感器进行计量。

本发明的技术方案如下：

真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，包括均温真空室，所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室，所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵，所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。

所述稳压配气室分别连接三个气体罐，所述稳压配气室上设置有电容薄膜真空计。

所述缓冲真空室设置有电容薄膜真空计以及温度传感器真空转换头。

所述均温真空室通过面密封阀连接所述稳压配气室。

所述缓冲真空室通过隔断阀连接所述过渡真空室，所述隔断阀与所述缓冲真空室的中间管路上设置有放气阀，所述过渡真空室与所述分子泵之间设置有插板阀。

所述预抽管路上设置有电磁隔断阀。

所述过渡真空室上设置有电离规和电阻规。

所述稳压配气室通过三个隔断充气阀对应连接所述三个气体罐。

所述均温真空室浸泡在恒温槽中，所述均温真空室的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管，所述铜管底端被封堵。

所述分子泵、机械泵、过渡真空室和稳压配气室都安装在机架上，所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。

本发明技术效果如下：1.通过稳压配气室实现气体种类的控制，通过高精度电容薄膜规实现气体浓度的精确配比，通过该稳压配气室实现样气的均匀混合从而为均温真空室提供标准样气。2.通过机械泵和电磁隔断阀的切换实现分子泵的前级预抽，稳压配气室的预抽及均温真空室的预抽。3.整套系统的便携性：系统集成可通过带自锁功能的万向轮实现移动，通过安装系统固定高纯气瓶，从而保证整套系统的便携性和移动性。进而能够同各温度段的不同标准温度槽配合使用。4.均温真空室提供所需要的均温环境和真空环境。

附图说明

图1是实施本发明的真空环境下温度比对试验系统结构示意图。

图2是实施本发明的真空环境下温度比对试验系统总体结构简图。

附图标记列示如下：1-均温真空室；2-温度标准安装口；3-过渡波纹管；4-恒温槽；5,6,19,20-电容薄膜真空计；7-温度传感器真空转换头；8-缓冲真空室；9-放气阀；10-隔断阀；11-电离规；12-电阻规；13-面密封阀；14-过渡真空室；15-分子泵；16,17,18-电磁隔断阀；21-配气稳压室；22，23，24-隔断充气阀；25，26，27-（高纯）气体罐；28-插板阀；29-机械泵；30-可移动控制系统；31-安装系统。

具体实施方式

下面结合附图（图1-图2）对本发明进行说明。