[发明专利]真空环境下温度比对试验系统

权利要求书

1.真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，包括均温真空室，所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室，所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵，所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。

2.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述稳压配气室分别连接三个气体罐，所述稳压配气室上设置有电容薄膜真空计。

3.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述缓冲真空室设置有电容薄膜真空计以及温度传感器真空转换头。

4.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述均温真空室通过面密封阀连接所述稳压配气室。

5.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述缓冲真空室通过隔断阀连接所述过渡真空室，所述隔断阀与所述缓冲真空室的中间管路上设置有放气阀，所述过渡真空室与所述分子泵之间设置有插板阀。

6.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述预抽管路上设置有电磁隔断阀。

7.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述过渡真空室上设置有电离规和电阻规。

8.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述稳压配气室通过三个隔断充气阀对应连接所述三个气体罐。

9.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述均温真空室浸泡在恒温槽中，所述均温真空室的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管，所述铜管底端被封堵。

10.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述分子泵、机械泵、过渡真空室和稳压配气室都安装在机架上，所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。