[发明专利]臭氧产生元件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及臭氧产生元件及其制造方法，更确切而言，涉及通过放电而由氧生成臭氧的臭氧产生元件及其制造方法。

背景技术

作为以往的臭氧产生元件，已知有例如专利文献1记载的臭氧产生元件。该臭氧产生元件的放电电极和感应电极隔着电介质基板而对置(对向する)。放电电极及感应电极分别通过由玻璃构成的保护膜覆盖。在如以上那样构成的臭氧产生元件中，通过对放电电极与感应电极之间施加交流高电压，而在放电电极的周围产生放电。由此，通过放电电极的周围的氧来生成臭氧。

然而，在专利文献1记载的臭氧产生元件中，在放电时，放电电极的温度上升。由于玻璃仅具有比较低的耐热性，因此由玻璃构成的保护膜因放电电极的温度的上升而劣化。其结果是，在专利文献1记载的臭氧产生元件中，放电电极发生炭化，臭氧的产生量下降。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2009-29647号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制保护层的劣化引起的臭氧的产生量的下降的臭氧产生元件及其制造方法。

【用于解决课题的手段】

本发明的一方式的臭氧产生元件的特征在于，具备：电介质层；设置在所述电介质层上的放电电极；隔着所述电介质层而与所述放电电极对置的感应电极；以及以覆盖所述放电电极的方式设置在所述电介质层上，且由玻璃陶瓷构成的保护层。

所述臭氧产生元件的制造方法的特征在于，同时烧成所述电介质层和所述保护层。

【发明效果】

根据本发明，能够抑制保护层的劣化引起的臭氧的产生量的下降。

附图说明

图1是臭氧产生元件的分解立体图。

图2是比较例的臭氧产生元件的分解立体图。

图3是表示第一实验的结果的曲线图(グラフ)。

图4是表示第三实验的结果的曲线图。

【符号说明】

10  臭氧产生元件

12  层叠体

14  放电电极

14a、16a  对置部

14b、16b  连接部

16  感应(誘導)电极

18a～18e  电介质层

20  保护层

24a、24b  外部电极

具体实施方式

以下，说明本发明的实施方式的臭氧产生元件及其制造方法。

(臭氧产生元件的结构)

以下，参照附图，说明一实施方式的臭氧产生元件的结构。图1是臭氧产生元件10的分解立体图。在图1中，将层叠方向定义为z轴方向，在从z轴方向俯视观察时，将臭氧产生元件10的长边延伸的方向定义为x轴方向，将臭氧产生元件10的短边延伸的方向定义为y轴方向。

臭氧产生元件10使用在具有除臭功能、杀菌功能的空气调节器或空气清洁器等中。如图1所示，臭氧产生元件10具备层叠体12、放电电极14、感应电极16、保护层20、外部电极24a、24b及通孔导体v1～v7。

层叠体12是由玻璃陶瓷构成的长方形形状的基板，具体而言是LTCC基板。LTCC基板的材料的一例是由CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃与Al₂O₃填料的混合物构成的玻璃陶瓷。通过将呈长方形形状的电介质层18(18a～18e)以从z轴方向的正方向侧向负方向侧依次排列的方式层叠而构成层叠体12。电介质层18的厚度例如为50μm以上且250μm以下。在本实施方式中，电介质层18的厚度为130μm。

放电电极14设置在电介质层18a的表面上，是包含银、铜、钯(パラジゥム)、氧化钌(酸化ルテニゥム)等导体材料的线状的导体层。如图1所示，放电电极14包括对置部14a及连接部14b。对置部14a呈现出具有朝向x轴方向的负方向侧突出的半周量的长度的圆弧的形状。连接部14b与对置部14a的y轴方向的正方向侧的端部连接，呈L字型。即，连接部14b从对置部14a的y轴方向的正方向侧的端部朝向x轴方向的正方向侧延伸，而且，朝向y轴方向的负方向侧折弯。连接部14b中的与对置部14a连接的端部的相反侧的端部ta位于电介质层18a的对角线的交点附近。而且，放电电极14的厚度例如为5μm以上且20μm以下。在本实施方式中，放电电极14的厚度为10μm。