[发明专利]包括沉积掩模的制造装置

说明书

技术领域

描述的技术总体上涉及包括沉积掩模的制造装置。

背景技术

有机发光二级管(OLED)显示器包括两个电极和它们之间的有机发射层。从一个电极注入的电子和从另一个电极注入的空穴在有机发射层彼此结合以形成激子，激子在发出能量时发光。

为了形成有机发射层，必须在基板上沉积有机材料，为了做到这一点，加热用有机材料填充的沉积源以蒸发有机材料，并将其喷射在基板之上。在这种情况下，为了以特定的图案沉积蒸发和喷射的有机材料，对应于沉积该有机材料的特定位置形成开口，由金属材料制成的沉积掩模用于其余位置。根据制造方法，沉积掩模分为分开掩模或者不分开掩模。通过使用安装在制造装置的两端处的夹持器向掩模片施加张力牵拉按单元分开的掩模片的两端，并将它焊接到掩模框架来使用分开掩模。通过使用在制造装置的四个角处安装的夹持器向母掩模施加张力牵拉未被分开的母掩模，并将它焊接到掩模框架来使用不分开掩模(即，常规的掩模)。

具体地讲，因为分开方法允许良好的选择，并且容易维修，所以分开方法广泛地应用于大规模生产。然而，因为分开掩模将分开掩模片的两端与夹持器结合，并对其施加张力，所以分开掩模片的两端会褶皱。这是因为，当夹持薄膜分开掩模片时，薄膜分开掩模片可能经受不住夹持器的夹持力，所以在分开掩模的两端会产生褶皱。可以减弱夹持力以阻止褶皱的产生，但是在这种情况下，可能不能提供精确的张力，并且夹持会松弛。

另外，当在分开掩模片的长度方向上产生褶皱时，可以通过对分开掩模片的两端施加张力并对其进行夹持来去除褶皱，当在分开掩模片的宽度方向上已经产生褶皱时，当对分开掩模片的两端施加张力时，褶皱不会去除。

另外，可以在将分开掩模片装载到掩模框架之前的阶段中通过真空固定分开掩模片，当夹持器夹持分开掩模片时，分开掩模片的位置会改变，所以分开掩模片的一端或两端可能未夹持在精确的位置。

在本背景技术部分公开的上述信息仅为了增强对描述的技术背景的理解，因此它可能包含不构成在本国对于本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的实施例提供了一种包括沉积掩模的制造装置，用于减少或者防止分开掩模片在夹持过程中产生褶皱，并且控制或者避免不当的夹持(例如，错误的夹持)。

本发明的示例性实施例提供了一种包括沉积掩模的制造装置，所述装置包括：夹持器，用于固定其上形成有销孔的分开掩模片的端部；夹持销，位于夹持器中，用于插入到销孔中；以及提升器，用于提升夹持销。

所述夹持器可以包括：上夹持器，用于接触分开掩模片的端部的上侧；以及下夹持器，用于接触分开掩模片的端部的下侧，并且具有用于将分开掩模片的端部附贴在下夹持器上的抽吸槽。

夹持销可以在抽吸槽中。

用于提升夹持销的提升孔可以位于下夹持器处。

用于容纳夹持销的插入槽可以位于上夹持器处。

提升器可以通过提升孔结合到夹持销。

抽吸槽可以结合到用于附贴分开掩模片的端部的真空。

沉积掩模可以包括多个分开掩模片。

根据本实施例，可以在夹持器中安装抽吸槽和夹持销以固定分开掩模片，所以可以夹持分开掩模片，同时分开掩模片在装载到掩模框架之前不皱褶而是平坦的。因此，可以消除在夹持分开掩模片的过程中发生的褶皱和不当的夹持的现象。

另外，沿四个倾斜的方向延伸分开掩模片，从而可以去除分开掩模片的在其宽度方向的褶皱。

附图说明

图1示出了根据本发明示例性实施例的分开掩模片和包括沉积掩模的制造装置的透视图。

图2示出了根据本发明示例性实施例的与包括沉积掩模的制造装置对应的分开掩模片的俯视图。

图3示出了根据本发明示例性实施例的包括沉积掩模的制造装置的夹持器的透视图。

图4示出了根据本发明示例性实施例的包括沉积掩模的制造装置的剖视图。

图5示出了根据本发明示例性实施例的通过使用包括沉积掩模的制造装置去除分开掩模片上的褶皱的方法。

具体实施方式

在下文中将参照附图更充分地描述本发明的实施例，附图中示出了本发明的示例性实施例。如本领域技术人员将认识到的，描述的实施例可以以各种不同的方式进行修改，而均未脱离本发明的精神或范围。

相同的标号贯穿说明书表示相同的元件。

另外，为了解释方便，会任意地示出在附图中所示的各个结构组件的尺寸和厚度，本发明不必局限于所示出的比例。