[发明专利]玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法，其通过对将玻璃原料熔融而生成的熔融玻璃进行成型来制造玻璃基板。

背景技术

玻璃基板一般是经过由玻璃原料生成熔融玻璃后，将熔融玻璃成型为玻璃基板的工序来制造的。上述各自的工序是通过在例如使玻璃材料熔融的熔解装置、除去熔融玻璃所内含的微小气泡的澄清槽、使玻璃成分均质化的搅拌槽、进行玻璃基板的成型的成型装置中实施适当处理来进行的。玻璃基板制造用的装置通过输送玻璃原料的输送管来连接。

在上述工序中，特别将根据需要除去熔融玻璃所内含的微小气泡的工序称作澄清，该工序是利用下述方法进行的：一边对管状的澄清槽的主体进行加热，一边使配合有As₂O₃等澄清剂的熔融玻璃通过该澄清槽主体(以下也仅称为主体)，利用澄清剂的氧化还原反应来除去熔融玻璃中的气泡。更具体而言，按照下述方式进行澄清：进一步提高粗熔解后的熔融玻璃的温度从而使澄清剂发挥功能使气泡浮上脱泡后，降低温度，由此使熔融玻璃吸收未完全脱泡而残留的较小的气泡。即，澄清包括使气泡浮上脱泡的处理(以下也称为脱泡处理或脱泡工序)以及使小泡吸收在熔融玻璃中的处理(以下也称为吸收处理或吸收工序)。

以往，澄清剂一般为As₂O₃，但近年来，从环境负荷的观点出发，开始使用SnO₂或Fe₂O₃等。

为了由高温的熔融玻璃进行高品质的玻璃基板的量产，期望考虑作为玻璃基板缺陷的主要因素的杂质等不要从制造玻璃基板的任何装置中混入到熔融玻璃中。因此，在玻璃基板的制造过程中与熔融玻璃接触的部件的内壁需要根据与该部件接触的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等由适当的材料构成。例如，已知构成上述澄清槽主体的材料一般使用铂或铂合金等铂族金属(专利文献1)。铂或铂合金等虽然价格高但其熔点高、对熔融玻璃的耐腐蚀性优异。

脱泡工序时对澄清槽主体进行加热的温度根据想要进行成型的玻璃基板的组成而不同，为1000℃～1650℃左右。

另外，玻璃原料可根据想要制造的玻璃基板的组成进行适当调制，例如在制造作为LCD用基板而使用的玻璃基板的情况下，玻璃组合物由SiO₂、B₂O₃、Al₂O₃、MgO、CaO、SrO、BaO、RO等构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2006-522001号公报

发明内容

发明所要解决的课题

若在上述澄清槽的出口附近发生熔融玻璃的滞留，则熔融玻璃在澄清槽内保持在高温的时间变长，因此熔融玻璃成分中的硼酸挥发，在熔融玻璃的液面附近生成比重较小的富含二氧化硅(SiO₂)的异质坯料。若在熔融玻璃的一部分上生成富含二氧化硅的异质坯料，则存在下述课题：该富含二氧化硅的异质坯料是导致在玻璃制品中生成波筋或失透等缺陷的原因。

另外，在熔融玻璃中混入玻璃材料以外的杂质的情况下，也会成为上述的波筋或失透的原因。例如，若利用使用了高氧化锆系耐火物的熔融窑在高温使玻璃原料熔融，则有时一部分氧化锆会从熔融窑混入熔融玻璃中，生成比重较大的玻璃。

鉴于以上情况，本发明的目的在于提供一种玻璃基板的制造方法，其能够消除在玻璃基板的制造过程中作为波筋或失透的原因之一的上述问题，提高玻璃制品的品质。

用于解决问题的手段

为了达成上述目的，本发明是一种玻璃基板的制造方法，其包含一边对澄清槽主体进行加热一边使配合有澄清剂的熔融玻璃通过澄清槽主体从而进行脱泡处理的脱泡工序，所述玻璃基板的制造方法构成如下。

澄清槽由铂族金属构成，并具备用于将熔融玻璃从该澄清槽送入下一工序的输送管，该输送管连接于用于使熔融玻璃从澄清槽流出的出口侧。

另外，还具有液位调整工序，其中，在使配合有澄清剂的熔融玻璃通过上述澄清槽时，调整熔融玻璃的流量使得熔融玻璃的液位为规定液位。

另外，将输送管设置在如下位置，在该位置，当使规定液位的熔融玻璃通过时，澄清槽内流动的熔融玻璃的上部表面附近的熔融玻璃不会滞留在上述出口附近而是流向输送管。

另外，输送管的下部位于相对于澄清槽的底部至少30mm以上的上部侧为宜。

发明效果