[发明专利]一种光学干涉谱域相位对照B扫描仪及其测量方法有效
| 申请号: | 201310025566.5 | 申请日: | 2013-01-10 |
| 公开(公告)号: | CN103148785A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
| 发明(设计)人: | 周延周;董博;徐金雄;白玉磊 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 510006 广东省广州市番禺区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光学 干涉 相位 对照 扫描仪 及其 测量方法 | ||
1.一种光学干涉谱域相位对照B扫描仪,依次包括低相干宽带光源(1)、凸透镜L1(2)、柱面镜(3)、分光镜(4)、偏振片(5)、参考平面(6)、被测复合材料构件(7)、凸透镜L2(8)、衍射光栅(9)、凸透镜L3(10)、CCD相机(11)和计算机(12)。
2.根据权利要求1所述的一种光学干涉谱域相位对照B扫描仪,其特征在于:仪器主视光路图中依次包括低相干宽带光源(1)、凸透镜L1(2)、相当于平面透镜的柱面镜(3)、分光镜(4)、偏振片(5)、参考平面(6)、被测复合材料构件(7)、凸透镜L2(8)、相当于平面反射镜的衍射光栅(9)、凸透镜L3(10)、CCD相机(11)和计算机(12)。
3.根据权利要求1所述的一种光学干涉谱域相位对照B扫描仪,其特征在于:仪器俯视光路图中依次包括低相干宽带光源(1)、凸透镜L1(2)、相当于凸透镜的柱面镜(3)、分光镜(4)、偏振片(5)、参考平面(6)、被测复合材料构件(7)、凸透镜L2(8)、具有对不同波长的光以不同衍射角衍射的衍射光栅(9)、凸透镜L3(10)、CCD相机(11)和计算机(12)。
4.根据权利要求1所述的一种光学干涉谱域相位对照B扫描仪,其特征在于:照明光路中使用带宽10nm以上的低相干宽带光源(1)。
5.根据权利要求1所述的一种光学干涉谱域相位对照B扫描仪,其特征在于:成像光路的凸透镜L2(8)和凸透镜L3(10)之间包括一个衍射光栅(9)。
6.一种光学干涉谱域相位对照B扫描测量方法,其特征在于包括以下步骤:
1)、对被测复合材料构件(7)进行轻微预紧,记录此时的干涉光谱图像;
2)、对被测复合材料构件(7)加载,使其产生离面位移,记录此时的干涉光谱图像;
3)、将1)和2)步骤中测量得到的两干涉光谱图像分别进行傅里叶变换,取相频特性作差,计算被测复合材料构件(7)的三维离面位移场分布。
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