[发明专利]用于使用频域干涉测量法进行光学成像的方法和设备

权利要求书

1.一种设备，包括：

至少一个第一装置，其将至少一个第一电磁辐射提供给样品并且将至少一个第二电磁辐射提供给非反射参考，其中由所述至少一个第一装置提供的辐射的频率随时间变化；以及

至少一个第二装置，其检测关联于所述至少一个第一辐射的至少一个第三辐射与关联于所述至少一个第二辐射的至少一个第四辐射之间的干涉。

2.根据权利要求1的设备，其中所述至少一个第三辐射是从所述样品返回的辐射，并且所述至少一个第四辐射是从所述参考传递的辐射。

3.根据权利要求1的设备，进一步包括至少一个第三装置，其用于移位所述至少一个第一电磁辐射、所述至少一个第二电磁辐射、所述至少一个第三电磁辐射或所述至少一个第四电磁辐射中的至少一个的频率。

4.根据权利要求1的设备，进一步包括至少一个第三装置，其基于所检测的干涉生成图像。

5.根据权利要求4的设备，进一步包括探头，其扫描所述样品的横向位置以生成扫描数据，并且其将所述扫描数据提供给所述第三装置以便生成所述图像。

6.根据权利要求5的设备，其中所述扫描数据包括在所述样品上的多个横向位置获得的所检测的干涉。

7.根据权利要求1的设备，其中至少一个第二装置包括至少一个光电检测器和跟随着所述至少一个光电检测器的至少一个电滤波器。

8.根据权利要求3的设备，其中至少一个第二装置包括至少一个光电检测器和跟随着所述至少一个光电检测器的至少一个电滤波器。

9.根据权利要求8的设备，其中所述至少一个电滤波器是带通滤波器，其具有与通过所述频移装置的频移的量值大约相同的中心频率。

10.根据权利要求9的设备，其中所述电滤波器的传输特性基本上在其通带上变化。

11.根据权利要求5的设备，其中所述探头包括旋转接合和光纤导管。

12.根据权利要求11的设备，其中所述导管以高于每秒30转的速度旋转。

13.根据权利要求1的设备，进一步包括至少一个偏振调制器。

14.根据权利要求1的设备，其中所述至少一个第二装置能够检测所述第一和第二电磁辐射中的至少一个的偏振态。

15.根据权利要求1的设备，其中所述至少一个第二装置包括至少一个双平衡接收器。

16.根据权利要求1的设备，其中所述至少一个第二装置包括至少一个偏振分集接收器。

17.根据权利要求1的设备，其中所述至少一个第二装置包括至少一个偏振分集和双平衡接收器。

18.根据权利要求1的设备，进一步包括至少一个第三装置，用于跟踪至少下列之一之间的相位差：

·所述至少一个第一电磁辐射与所述至少一个第二电磁辐射，以及

·所述至少一个第三电磁辐射与所述至少一个第四电磁辐射。

19.根据权利要求1的设备，进一步包括发射特定辐射的装置，当所述至少一个第一装置基于所述特定辐射提供所述第一和第二电磁辐射时，所述特定辐射被提供给所述至少一个第一装置，其中所述第一和第二电磁辐射中的至少一个具有中值频率以大于每毫秒100万亿赫兹的调谐速度随时间基本上连续变化的谱。

20.一种方法，包括下列步骤：

将至少一个第一电磁辐射提供给样品并且将至少一个第二电磁辐射提供给非反射参考，其中所述第一和第二辐射中的至少一个的频率随时间变化；以及

检测关联于所述至少一个第一辐射的至少一个第三辐射与关联于所述至少一个第二辐射的至少一个第四辐射之间的干涉。