[发明专利]激光加工装置及其方法有效
| 申请号： | 201310019943.4 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN103212786A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 尹星进;辛圭晟;郑薰;李瑾行;池泳洙 | 申请（专利权）人： | 灿美工程股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/067 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 及其 方法 | ||
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：
激光部，生成激光束；
波片，用于调节来自所述激光部的激光束的偏振方向；
偏光片，将经由所述波片的激光束分成第一激光束和第二激光束；
多个反射部，反射所述第二激光束；
激光束放大部，放大所述第二激光束；
聚焦透镜，用于聚焦所述第一激光束及通过所述多个反射部和所述激光束放大部的所述第二激光束；以及
加工部，用于安放加工对象；
利用所述第一激光束和被放大的所述第二激光束，分别对加工对象的不同位置进行加工。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，
经由所述多个反射部和所述激光束放大部的所述第二激光束，经由所述偏光片之后，被聚焦透镜聚焦。
3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，
所述波片包括第一波片和第二波片。
4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，
所述第一波片配置在所述激光部和所述偏光片之间，所述第二波片配置在所述偏光片和所述反射部之间。
5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，
所述偏光片和所述聚焦透镜之间，还包括聚光透镜。
6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，
通过调节所述聚光透镜和所述聚焦透镜之间的距离，能够调节所述加工对象的被加工厚度。
7.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，
所述激光束是皮秒激光束或飞秒激光束。
8.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，
所述激光束放大部包括扩束望远镜。
9.一种激光加工方法，其特征在于，
将激光束分成第一激光束和第二激光束，通过聚焦透镜聚焦所述第一激光束和被放大的所述第二激光束，从而分别对加工对象的不同位置进行加工。
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