[发明专利]一种用于激光干涉光刻系统的光栅相位调制器

权利要求书

1.一种用于激光干涉光刻系统的光栅相位调制器，其特征在于：所述的光栅相位调制器为圆形光栅相位调制器（1），圆形光栅相位调制器（1）包括圆形基板（11）、环形光栅（12）、旋转电机（13）和光栅定位器（4）；环形光栅（12）沿圆周方向安装于圆形基板（11）上，且至少安装一条环形光栅；旋转电机（13）的输出轴与圆形基板（11）相连接，光栅定位器（4）安装于圆形基板（11）上。

2.一种用于激光干涉光刻系统的矩形光栅相位调制器，其特征在于：所述的光栅相位调制器为矩形光栅相位调制器（2），矩形光栅相位调制器（2）包括矩形基板（21）、矩形光栅（22）、直线电机（23）和光栅定位器（4）；矩形光栅（22）沿长度方向安装于矩形基板（21）上，且至少安装一条矩形光栅；直线电机（23）的动子或定子与矩形基板（21）相连接，光栅定位器（4）安装于矩形基板（21）上。

3.根据权利要求1或2所述的一种光栅相位调制器，其特征在于：所述环形光栅（12）和矩形光栅（22）采用透射式闪耀型光栅或反射式闪耀型光栅。