[发明专利]用于测量仪器中的探针式设备

权利要求书

1.一种用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，包括：

棒状杆（10）；和

与所述棒状杆（10）附连的接触尖端（12），其中所述接触尖端（12）通常为桶状。

2.如权利要求1所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

桶状接触尖端（12）的端部具有较小的桶半径（R4），桶状接触尖端（12）的赤道（E）具有较大的桶半径（R2）。

3.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

所述桶状接触尖端（12）的较小的桶半径（R4）与较大的桶半径（R2）的比值为0.5至0.97。

4.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端（12）的桶赤道半径（R2）与桶曲率半径（R1）的比值为0.06至0.5。

5.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端（12）的桶赤道半径（R2）与桶长（H1）的比值为0.2至0.45或0.3至0.8。

6.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端（12）和所述棒状杆（10）分别具有桶长（H1）和杆长（H2）。

7.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端（12）的桶长（H1）与杆长（H2）的比值为0.07至2。

8.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端（12）的桶曲率半径（R1）与桶长（H1）的比值为0.9至4.5。

9.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

所述桶状接触尖端（12）包括近端部分（PP）和远端部分（DP）；

所述近端部分（PP）从所述杆延伸到所述桶状接触尖端（12）的所述赤道（E），所述远端部分（DP）从所述接触尖端（12）的所述赤道（E）延伸到所述接触尖端（12）的自由端所述（FE）。

10.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

所述接触尖端（12）的所述远端部分（DP）和所述近端部分（PP）的长度比为1，以使得所述接触尖端（12）通常为对称的桶形。

11.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

所述接触尖端（12）的所述远端部分（DP）与所述近端部分（PP）的长度比为0.15至1，但小于1，以使得所述接触尖端（12）通常是不对称的桶形。

12.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述接触尖端（12）的所述远端部分（DP）与所述近端部分（PP）的长度比为1.5至2，以使得所述接触尖端（12）通常为不对称的桶形。

13.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

所述接触尖端（12）的所述自由端（FE）具有弯曲的表面形状。

14.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

所述接触尖端（12）的自由端曲率半径（R5）与桶曲率半径（R1）的比值为0.3~3.5。

15.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述接触尖端（12）通常是不对称的桶形，且所述接触尖端（12）的所述自由端（FE）具有弯曲的表面形状。

16.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

所述接触尖端（12）的桶赤道半径（R2）与自由端曲率半径（R5）的比值为0.06~0.5。

17.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于：

桶赤道半径（R2）与桶曲率半径（R1）的比值和桶赤道半径（R2）与自由端曲率半径（R5）的比值0.06~0.5相等。